當(dāng)前位置：合肥真萍電子科技有限公司>>半導(dǎo)體工藝設(shè)備>>全自動(dòng)真空立式烤箱

全自動(dòng)真空立式烤箱

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地合肥市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

塑料機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-04-28 11:40:53瀏覽次數(shù)：85次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自塑料機(jī)械網(wǎng)

暫無(wú)信息

合肥真萍電子科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：32條

所在地區(qū)：安徽合肥市

聯(lián)系人：張經(jīng)理

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途：真空面向是晶圓和封裝段應(yīng)用于低溫烘烤，烘干，除水。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	TASZ3050D203-N		TASZ3050D403-N
產(chǎn)品特點(diǎn)	可搭載OHT實(shí)現(xiàn)無(wú)人化操作，節(jié)省空間，真空下低溫烘烤縮短工藝時(shí)間，產(chǎn)品保護(hù)產(chǎn)品性能提升。
氧氣含量	50PPM	工藝溫度		室溫+30-300℃
產(chǎn)品規(guī)格	8/12inch 晶圓	存放數(shù)量		50PCS/管
加熱器	熱電阻加熱
上料口	2個(gè)	機(jī)械手		1
溫度范圍	長(zhǎng)期使用溫度: 200℃，溫度：300℃
升溫速率	1~5℃/min	降溫速率		3℃/min
加熱功率	22KW	加熱溫區(qū)		3個(gè)
爐溫均勻性	±3℃	控溫?zé)崤?/span>		K分度
溫度控制方式	SSR	程序控制		P.I.D控制
爐腔材料	SUS316L	保溫材料		陶瓷纖維
氣氛控制	多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣	氣氛		N2
真空度	≤10pa
潔凈度	Class 100	翹曲度		12寸翹曲度≤2mm； 8寸翹曲度≤1mm