當(dāng)前位置：合肥真萍電子科技有限公司>>半導(dǎo)體工藝設(shè)備>>全自動立式氧化/擴(kuò)散爐

全自動立式氧化/擴(kuò)散爐

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地合肥市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

塑料機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-04-28 11:44:30瀏覽次數(shù)：94次

聯(lián)系我時，請告知來自塑料機(jī)械網(wǎng)

暫無信息

合肥真萍電子科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：32條

所在地區(qū)：安徽合肥市

聯(lián)系人：張經(jīng)理

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

用途介紹：主要用于半導(dǎo)體集成電路、電力電子（IGBT）、微機(jī)械（MEMS）、光伏電池（Photovoltaic）制造等領(lǐng)域，適用6~12英寸工藝尺寸擴(kuò)散、氧化、工藝。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能：

擴(kuò)散/氧化爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)重要工藝，擴(kuò)散是在高溫條件下，利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中，

使其具有特定的濃度分布，達(dá)到改變材料的電學(xué)特性，形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的。可用于制作PN結(jié)或構(gòu)成集成電路中的

電阻、電容、二極管和晶體管等器件。氧化是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚?，在硅片表面形成氧化?/span>

的過程，可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等。

設(shè)備特點(diǎn)	可滿足閉管干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化工藝
	采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動化；
	具有友好的人機(jī)界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；
	具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
	具有*的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間；
	恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度；
	具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護(hù)功能；
	可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。