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合肥真萍電子科技有限公司
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更新時間:2026-04-28 11:44:30瀏覽次數(shù):94次
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用途介紹:主要用于半導(dǎo)體集成電路、電力電子(IGBT)、微機(jī)械(MEMS)、光伏電池(Photovoltaic)制造等領(lǐng)域,適用6~12英寸工藝尺寸擴(kuò)散、氧化、工藝。
產(chǎn)品功能:
擴(kuò)散/氧化爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)重要工藝,擴(kuò)散是在高溫條件下,利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中,
使其具有特定的濃度分布,達(dá)到改變材料的電學(xué)特性,形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的。可用于制作PN結(jié)或構(gòu)成集成電路中的
電阻、電容、二極管和晶體管等器件。氧化是將硅片放置于氧氣或水蒸氣的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚?,在硅片表面形成氧化?/span>
的過程,可作為離子注入的阻擋層及注入穿透層、表面鈍化、器件結(jié)構(gòu)的介質(zhì)層等。
設(shè)備 特點(diǎn) | 可滿足閉管干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化工藝 |
采用高可靠性工控機(jī)+PLC模式,對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動化; | |
具有友好的人機(jī)界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài); | |
具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇; | |
具有*的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間; | |
恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度; | |
具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護(hù)功能; | |
可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。 |
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