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合肥真萍電子科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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更新時(shí)間：2026-04-28 11:43:22瀏覽次數(shù)：90次
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產(chǎn)品用途： 用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領(lǐng)域，主要適用于6"、8"、12"晶圓的合金、退火等工藝。 退火是在中低溫條件下，通入惰性氣體（N2），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質(zhì)量的一種工藝。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.一體式人機(jī)操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動(dòng)化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時(shí)間；
2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；
3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | TAST2075D112-N | TAST3075D112-N | |||||
處理產(chǎn)品 | 6/8/12inch 晶圓 | 處理量 | 100PCS/管 | ||||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | ||||||
上料口 | 2個(gè) | 機(jī)械手 | 1 | ||||
溫度范圍 | 長(zhǎng)期使用溫度: 1050℃，溫度：1200℃ | ||||||
升溫速率 | ＜10℃/min | 降溫速率 | ＜5℃/min | ||||
爐溫均勻性 | ±℃（1050℃恒溫） | 加熱溫區(qū) | 3個(gè) | ||||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛控制 | 多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣，流量計(jì)量程：0-150L/min | 氣氛 | N2 | ||||
排氣系統(tǒng) | 在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收 | ||||||
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