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半導(dǎo)體襯底缺陷檢測(cè)設(shè)備

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我們的愿景參與構(gòu)建全聯(lián)接、全感知、全智能世界,成為有影響力的科技企業(yè)。華工激光是中國(guó)激光工業(yè)化應(yīng)用的、者,激光加工解決方案提供商。我們?nèi)娌季旨す庵悄苎b備、量測(cè)與自動(dòng)化產(chǎn)線、智慧工廠建設(shè),為智能制造提供整體解決方案。我們深刻把握制造業(yè)發(fā)展趨勢(shì),不斷豐富產(chǎn)品和解決方案,堅(jiān)持探索自動(dòng)化、信息化、智能化與制造業(yè)的融合,為各行業(yè)提供包括全功率系列的激光切割系統(tǒng)、激光焊接系統(tǒng)、激光打標(biāo)系列、激光毛化成套設(shè)備、激光熱處理系統(tǒng)、激光打孔機(jī)、激光器及各類(lèi)配套器件、激光加工專(zhuān)用設(shè)備及等離子切割設(shè)備,及自動(dòng)化產(chǎn)線、智慧工廠建設(shè)整體方案。華工激光積極投身現(xiàn)代工業(yè)浪潮,承擔(dān)了多項(xiàng)激光領(lǐng)域國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目和重大科技攻關(guān)項(xiàng)目,針對(duì)市場(chǎng)需求和應(yīng)用場(chǎng)景,豐富“光制造”內(nèi)核。我們將激光技術(shù)使能與物,促進(jìn)物與物、人與物高效聯(lián)接,實(shí)現(xiàn)無(wú)障礙的信息共享。服務(wù)科技創(chuàng)新,我們不斷拓寬激光與智造的邊界,打通行業(yè)壁壘,讓激光技術(shù)和智造解決方案成為驅(qū)動(dòng)人類(lèi)生產(chǎn)、賦能社會(huì)服務(wù)的工具和理念。激光智造 聚焦一切可能從激光智能裝備,到自動(dòng)化產(chǎn)線、智慧工廠,為滿足各領(lǐng)域、多場(chǎng)景客戶實(shí)際需求,華工激光不斷豐富產(chǎn)品和解決方案,延伸智能制造價(jià)值鏈,滿足各領(lǐng)域客戶實(shí)際需求,在3C電子、5G通信、鈑金加工、新能源、機(jī)械制造、汽車(chē)制造、橋梁、軌道運(yùn)輸、醫(yī)療、日用消費(fèi)品、家電、等多領(lǐng)域,持續(xù)拓展“激光+智造”服務(wù)空間。創(chuàng)新的華工激光工業(yè)化發(fā)展的動(dòng)能,源自生產(chǎn)力變革的需求,也離不開(kāi)前沿研究的。1971年,伴隨著一個(gè)激光專(zhuān)業(yè)班的誕生,華工激光開(kāi)啟了近半個(gè)世紀(jì)的技術(shù)積淀。1971年,一個(gè)激光專(zhuān)業(yè)班誕生,華工激光開(kāi)啟了近半個(gè)世紀(jì)的技術(shù)積淀。五十年與中國(guó)激光發(fā)展同頻共振,我們深知任何一門(mén)學(xué)科都需要經(jīng)過(guò)實(shí)踐的檢驗(yàn),任何一項(xiàng)成熟的技術(shù)和解決方案也必須經(jīng)過(guò)市場(chǎng)的檢驗(yàn)。在激光裝備、自動(dòng)化、智能制造等多領(lǐng)域,我們始終堅(jiān)持技術(shù)突破、科技創(chuàng)新;從核心單元技術(shù)到系統(tǒng)解決方案,華工激光以深厚的技術(shù)積淀和前瞻的研究布局助力建設(shè)“智造”世界。用戶至上的華工激光依靠前瞻性的工藝研究、全系列的產(chǎn)品體系、高效的交付響應(yīng)和*的售后體系,我們?yōu)槟峁?zhuān)業(yè)、及時(shí)的服務(wù),充分滿足您的生產(chǎn)需求。研發(fā)及中試基地:國(guó)內(nèi)6萬(wàn)余平米的研發(fā)及中試基地,6大區(qū)域技術(shù)中心為您提供專(zhuān)業(yè)及時(shí)的工藝服務(wù)。生產(chǎn)基地:國(guó)內(nèi)10萬(wàn)余平方米的智能制造生產(chǎn)基地,24小時(shí)*365天滿足批量交付需求。大海外研發(fā)中心加拿大多倫多超快激光器研發(fā)中心,美國(guó)硅谷激光應(yīng)用研發(fā)中心,德國(guó)漢堡智能制造研究中心,澳大利亞墨爾本高功率激光裝備研發(fā)中心。全國(guó)銷(xiāo)售網(wǎng)點(diǎn):國(guó)內(nèi)40+個(gè)辦事處,海外30+銷(xiāo)售服務(wù)中心,為您提供專(zhuān)業(yè)貼心的售前服務(wù)。走向世界的華工激光我們堅(jiān)持開(kāi)放包容、互惠共享的化戰(zhàn)略,在國(guó)內(nèi)外擁有*的市場(chǎng)服務(wù)體系,國(guó)內(nèi)設(shè)有辦事處40余個(gè),在美國(guó)、澳大利亞、印度、中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)、巴基斯坦、越南、菲律賓均設(shè)有銷(xiāo)售和服務(wù)機(jī)構(gòu),在英國(guó)、德國(guó)、波蘭、匈牙利、意大利、阿根廷等國(guó)家均配備*的代理體系,可為客戶提供專(zhuān)業(yè)、高效的服務(wù)。
打標(biāo)機(jī)
面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料生產(chǎn)企業(yè)、中游晶圓生產(chǎn)企業(yè),采用獨(dú)立開(kāi)發(fā)的光學(xué)明暗場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),對(duì)半導(dǎo)體原片、外延片、無(wú)圖形晶圓的外觀缺陷進(jìn)行檢測(cè)。 檢測(cè)精度 7 μm 檢測(cè)鏡頭 高清工業(yè)鏡頭 整機(jī)尺寸(mm) 1800*1300*2250
半導(dǎo)體襯底缺陷檢測(cè)設(shè)備 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 01
    適用多種晶圓

    適用于4—8英寸原片、襯底、外延片及無(wú)圖形晶圓 


  • 02
    可檢測(cè)多種缺陷

    檢測(cè)顆粒、凹坑、凸起、劃傷、污點(diǎn)、裂紋等缺陷


  • 03
    分辨精度高

    系統(tǒng)分辨率:1-10μm 


  • 04
    檢測(cè)速度快

    無(wú)圖形晶圓:缺陷數(shù)量在200個(gè)以?xún)?nèi)的情況下,180秒/片


技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目主要技術(shù)參數(shù)
常規(guī)參數(shù)Wafer尺寸標(biāo)配4" , 6"(可擴(kuò)展4"-8")
料盒數(shù)量雙層,  14 pcs
上下料方式機(jī)械手,  Mapping掃描
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)Y行程 350mm,重復(fù)精度 10μm
Z行程 8mm,重復(fù)精度 5μm
產(chǎn)能4" , 140WPH     6" ,  120WPH
檢測(cè)性能檢測(cè)精度7 μm
相機(jī)高分辨率工業(yè)相機(jī)
鏡頭高清工業(yè)鏡頭
光源光源
使用環(huán)境供電規(guī)格AC220V,   50Hz
氣源要求0 .5-0 .7Mpa壓縮空氣,  無(wú)明顯水汽和油脂
設(shè)備重量溫度15-40℃,  濕度要求30%-70%,  無(wú)凝霜
整機(jī)尺寸1800mm*1300mm*2250mm


樣品展示
關(guān)鍵詞:機(jī)械手
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