產(chǎn)品優(yōu)勢
- 01加工質(zhì)量高
切割線寬窄(以紫外準(zhǔn)直為例,切割線寬 +HAZ≤20±5μm),崩邊?。ā?0μm)
- 02加工效率高
UPH≥10 (紫外振鏡:以3英寸雙臺面硅二極管晶圓為例,含自動(dòng)對位時(shí)間)
- 03加工穩(wěn)定性好
激光器脈沖穩(wěn)定性高(≤2% rms),光束質(zhì)量高( M2≤1.2)
技術(shù)參數(shù)
| 內(nèi)容 | 主要技術(shù)參數(shù) | ||
| 設(shè)備型號 | LUD3200 | LUD3210 | |
| 激光器參數(shù) | 中心波長 | ~355nm | ~355nm |
| 加工頭 | 激光掃描頭 | 激光準(zhǔn)直頭 | |
| 加工性能 | 有效工作行程 | 200x300mm(選配)、 DD馬達(dá) | 200x300mm(選配)、 DD馬達(dá) |
| 重復(fù)定位精度 | ±2μm 、 ± 5arc sec | ±2μm 、 ± 5arc sec | |
| 視覺定位 | 正面定位 、正面切割 | 正面定位 、正面切割 | |
| 劃線線寬 | ≤30± 5 μm | ≤20± 5 μm | |
| 其他 | 供電規(guī)格 | 220V/50Hz/3 .5 kW | 220V/50Hz/3 .5 kW |
| 整機(jī)尺寸 | 1500mm*1700mm*2000mm | 1500mm*1700mm*2000mm | |
| 設(shè)備重量 | 1500 Kg | 1500 Kg | |
樣品展示
切割正面--3英寸雙臺面二極管晶圓激光全切(背面貼膜),晶粒尺寸300*300μm,晶圓 厚度130μm,切割溝道厚度30μm
切割背面--3英寸雙臺面二極管晶圓激光全切(背面貼膜),晶粒尺寸300*300μm,晶圓 厚度130μm,切割溝道厚度30μm













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