面向半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料生產(chǎn)企業(yè)、中游晶圓生產(chǎn)企業(yè)，采用獨立開發(fā)的光學明暗場檢測系統(tǒng)，對半導體原片、外延片、無圖形晶圓的外觀缺陷進行檢測。檢測精度7μm檢測鏡頭高清工業(yè)鏡頭整機尺寸（mm）1800*1300*2250