量程0.5SCCM-6000SLPM，優(yōu)于1%的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100ms響應(yīng)時間美國ALICAT21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)