量程0.5SCCM-6000SLPM，優(yōu)于1%的精度，測(cè)量范圍廣，優(yōu)于10ms響應(yīng)時(shí)間美國(guó)ALICAT20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計(jì)，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因