量程10SCCM-3000SLPM，優(yōu)于2%的精度，測(cè)量范圍廣，優(yōu)于10ms響應(yīng)時(shí)間，高壓應(yīng)用實(shí)時(shí)多元流量測(cè)量這款多功能20Q系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)可縮短檢定或驗(yàn)證高壓（160-320psia）條件下運(yùn)行流量所需時(shí)間，還能夠同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)