一、產(chǎn)品介紹

德國(guó)進(jìn)口ISI ELBAZ0456過(guò)濾器，是面向精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場(chǎng)景打造的帶梯度疊層燒結(jié)濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元，沒(méi)有沿用普通常規(guī)同規(guī)格過(guò)濾器依靠單一均質(zhì)濾層直接攔截雜質(zhì)的傳統(tǒng)直進(jìn)直出思路，而是在半導(dǎo)體制造設(shè)備特種工藝氣體管路除雜布設(shè)、生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┹斔凸苈愤^(guò)濾這類對(duì)低流阻高精度攔截、無(wú)二次析出要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景需求層面做了梯度疊層燒結(jié)濾芯架構(gòu)集成、側(cè)向進(jìn)下向出低擾動(dòng)流道布局專項(xiàng)優(yōu)化，針對(duì)普通常規(guī)均質(zhì)濾層過(guò)濾器濾孔易快速堵塞、雜質(zhì)攔截精度不足的常見(jiàn)問(wèn)題做了316L不銹鋼全流道鏡面拋光工藝升級(jí)、快開(kāi)卡扣式無(wú)工具端蓋結(jié)構(gòu)調(diào)整，不用在過(guò)濾單元前后額外加裝多級(jí)串聯(lián)預(yù)過(guò)濾保護(hù)單元就能在單臺(tái)緊湊過(guò)濾單元上實(shí)現(xiàn)大顆粒預(yù)攔截+高精度精濾的梯度過(guò)濾和低流阻穩(wěn)定輸運(yùn)的一體化作業(yè)，從根源上減少了普通常規(guī)均質(zhì)濾層過(guò)濾器濾餅層易快速堆積堵塞、微小顆粒攔截效率不足的問(wèn)題，在長(zhǎng)期伴隨半導(dǎo)體制造設(shè)備特種工藝氣體管路除雜布設(shè)、生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┹斔凸苈愤^(guò)濾的使用場(chǎng)景下，也能持續(xù)維持穩(wěn)定的高精度低流阻過(guò)濾性能與長(zhǎng)周期高純介質(zhì)復(fù)雜工況適配性能。

二、功能特點(diǎn)

梯度疊層燒結(jié)濾芯性能

單元的過(guò)濾器內(nèi)部的核心過(guò)濾元件采用多層不同過(guò)濾精度的不銹鋼粉末梯度疊層燒結(jié)成型，從流體入口側(cè)到出口側(cè)濾層的過(guò)濾精度逐步提升，大尺寸雜質(zhì)先被入口側(cè)粗濾層攔截，細(xì)小顆粒再被后側(cè)高精度濾層捕捉，雜質(zhì)在整個(gè)濾芯的厚度方向上均勻分布堆積，不會(huì)在濾芯表面快速形成致密濾餅層，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)單一均質(zhì)濾層的過(guò)濾器雜質(zhì)僅堆積在表面短時(shí)間內(nèi)就堵塞的情況，不用頻繁拆解更換新的濾芯，就可以大幅延長(zhǎng)濾芯的整體納污容量，拉長(zhǎng)過(guò)濾器的有效在線使用周期。

側(cè)向進(jìn)下向出低擾動(dòng)流道性能

單元的過(guò)濾器的流體進(jìn)出接口采用側(cè)向入口接入、下向出口流出的特殊流道布局，流體進(jìn)入過(guò)濾器腔體后先沿側(cè)向平緩流動(dòng)再向下穿過(guò)濾芯，流道內(nèi)部的流動(dòng)狀態(tài)平緩穩(wěn)定，不會(huì)形成劇烈的局部湍流擾動(dòng)，已經(jīng)被攔截在濾芯內(nèi)部的雜質(zhì)不容易被二次沖刷帶出流道，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)上進(jìn)下出直沖式流道的過(guò)濾器高速流體直接沖擊濾芯雜質(zhì)易二次析出的情況，不用在過(guò)濾器下游額外加裝獨(dú)立的雜質(zhì)二次攔截保護(hù)單元，就可以避免已經(jīng)被攔截的雜質(zhì)重新混入下游流體，保障下游流體的潔凈度穩(wěn)定。

316L不銹鋼全流道鏡面拋光性能

單元的過(guò)濾器所有和流體直接接觸的金屬流道表面全部采用316L不銹鋼材質(zhì)并做微米級(jí)精度的鏡面拋光處理，流道內(nèi)壁的表面粗糙度控制在極低的數(shù)值區(qū)間，流道內(nèi)壁幾乎不會(huì)吸附殘留的微量介質(zhì)和微小顆粒，不容易積存頑固的殘留雜質(zhì)，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)未做精密拋光的粗糙流道內(nèi)壁易吸附介質(zhì)積存雜質(zhì)的情況，不用在正式投入使用前對(duì)過(guò)濾器做長(zhǎng)時(shí)間的大流量循環(huán)沖洗，就可以快速將內(nèi)部殘留的微量雜質(zhì)沖洗干凈，縮短系統(tǒng)的開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備時(shí)長(zhǎng)。

快開(kāi)卡扣式無(wú)工具端蓋性能

單元的過(guò)濾器的殼體端蓋采用快開(kāi)卡扣式鎖緊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不需要借助任何專用工具，操作人員徒手就可以快速完成端蓋的開(kāi)啟和鎖緊動(dòng)作，拆解更換內(nèi)部濾芯的操作過(guò)程非常簡(jiǎn)便，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)多顆螺栓鎖緊端蓋的過(guò)濾器拆解更換濾芯時(shí)需要逐個(gè)擰動(dòng)大量螺栓的情況，不用配備專用的拆裝工具，就可以快速完成濾芯的更換作業(yè)，大幅縮短日常維護(hù)的操作時(shí)長(zhǎng)。

大通徑低阻適配性能

單元的過(guò)濾器的內(nèi)部流體通徑經(jīng)過(guò)專項(xiàng)優(yōu)化設(shè)計(jì)，流體穿過(guò)過(guò)濾器整個(gè)腔體的流動(dòng)阻力控制在很低的區(qū)間內(nèi)，即使在大流量流體連續(xù)輸送的工況下，過(guò)濾器前后的壓力損失也維持在很低的數(shù)值，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)小通徑過(guò)濾器大流量下壓力損失陡增的情況，不用在過(guò)濾器上游額外加裝大排量增壓元件補(bǔ)償壓力損失，就可以滿足大流量流體的順暢輸送要求，降低管路系統(tǒng)的整體運(yùn)行能耗。

高精度微米級(jí)顆粒攔截性能

單元的梯度疊層燒結(jié)濾芯的最終出口側(cè)濾層的過(guò)濾精度達(dá)到微米級(jí)水平，流體中夾帶的微米級(jí)微小固體顆?？梢员挥行r截在濾芯內(nèi)部，下游流出的流體的潔凈度可以長(zhǎng)期維持在很高的等級(jí)，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)低精度過(guò)濾器無(wú)法有效攔截微米級(jí)微小顆粒的情況，不用在下游采樣位置額外加裝獨(dú)立的終端高精度過(guò)濾元件，就可以直接滿足多數(shù)精密工藝場(chǎng)景的高純流體潔凈度要求。

雙道食品級(jí)密封圈密封性能

單元的過(guò)濾器的端蓋和殼體的貼合位置配置了兩道獨(dú)立的食品級(jí)彈性密封圈，兩道密封圈之間預(yù)留了微小的泄漏檢測(cè)間隙，即使一道密封出現(xiàn)微小滲漏，滲漏的介質(zhì)也會(huì)被第二道密封阻擋，同時(shí)可以通過(guò)預(yù)留的檢測(cè)孔外接檢漏傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)密封狀態(tài)，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)單道密封的過(guò)濾器密封失效后介質(zhì)直接向外泄漏的情況，不用在端蓋貼合位置額外涂抹大量的液態(tài)密封膠，就可以實(shí)現(xiàn)殼體結(jié)合位置的可靠密封，同時(shí)支持在線密封狀態(tài)監(jiān)測(cè)。

標(biāo)準(zhǔn)通用管路接口性能

單元的過(guò)濾器的流體進(jìn)出接口采用工業(yè)通用的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格管路連接端口，市面上常規(guī)的同規(guī)格工業(yè)流體管路接頭都可以直接和過(guò)濾器對(duì)接鎖緊，不需要額外定制特殊的非標(biāo)轉(zhuǎn)接頭，不會(huì)出現(xiàn)普通常規(guī)非標(biāo)準(zhǔn)特殊接口的過(guò)濾器無(wú)法直接適配存量標(biāo)準(zhǔn)管路的情況，不用額外加工非標(biāo)螺紋轉(zhuǎn)接零件，就可以直接和現(xiàn)場(chǎng)已有的流體管路快速對(duì)接，降低安裝配套的工作量。

三、選型指南

匹配目標(biāo)過(guò)濾場(chǎng)景的基礎(chǔ)實(shí)際日常輸送的流體介質(zhì)的腐蝕強(qiáng)度需求

先確認(rèn)日常管路中輸送的流體介質(zhì)的實(shí)際腐蝕強(qiáng)度，當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)316L不銹鋼材質(zhì)適配的多數(shù)常規(guī)高純氣體、高純?cè)噭┖腿醺g流體場(chǎng)景直接選用這款德國(guó)進(jìn)口ISI ELBAZ0456過(guò)濾器標(biāo)準(zhǔn)版本即可滿足使用需求，配套強(qiáng)腐蝕性特殊化學(xué)介質(zhì)的特殊場(chǎng)景，可選用同系列對(duì)應(yīng)更高耐蝕合金材質(zhì)的適配版本，進(jìn)一步提升過(guò)濾器的整體介質(zhì)耐受能力，適配強(qiáng)腐蝕高純介質(zhì)的高精度過(guò)濾需求。

匹配現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際工況的長(zhǎng)期所處現(xiàn)場(chǎng)的常規(guī)流體中夾帶的固體顆粒濃度等級(jí)需求

確認(rèn)過(guò)濾器長(zhǎng)期接入的管路中流體夾帶的固體顆粒的實(shí)際濃度等級(jí)，當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)常規(guī)納污容量適配的多數(shù)常規(guī)低顆粒濃度流體場(chǎng)景直接選用當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)版本即可滿足使用需求，配套顆粒濃度長(zhǎng)期偏高的特殊工況，可選用同系列對(duì)應(yīng)高納污容量?jī)?yōu)化的適配版本，進(jìn)一步提升整套過(guò)濾器的整體納污能力，適配高顆粒濃度工況下的長(zhǎng)期穩(wěn)定使用需求。

適配現(xiàn)場(chǎng)安裝點(diǎn)位的實(shí)際原有管路系統(tǒng)預(yù)留的接口連接方式需求

提前確認(rèn)原有管路系統(tǒng)上預(yù)留的過(guò)濾器安裝接口的實(shí)際連接方式，當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)常規(guī)快裝接口適配的多數(shù)存量常規(guī)工業(yè)潔凈管路場(chǎng)景直接選用當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)版本即可滿足使用需求，配套存量老舊特殊非標(biāo)準(zhǔn)接口的老舊精密儀器改造場(chǎng)景，可選用同系列對(duì)應(yīng)適配特殊接口的適配版本，進(jìn)一步適配原有老舊管路的接口規(guī)格，適配存量老舊精密儀器改造的安裝場(chǎng)景。

適配高潔凈要求電子級(jí)超純水管路高精度過(guò)濾特殊工況需求

如果是用于長(zhǎng)期在高潔凈半導(dǎo)體制造車間內(nèi)部進(jìn)行電子級(jí)超純水輸送管路高精度過(guò)濾的場(chǎng)景，可直接選用同系列對(duì)應(yīng)增強(qiáng)型全流道超高潔凈無(wú)析出構(gòu)型的適配版本，在保障基礎(chǔ)梯度疊層過(guò)濾性能的前提下進(jìn)一步提升單元整體的超潔凈無(wú)析出等級(jí)，滿足高潔凈半導(dǎo)體制造車間工況下的長(zhǎng)期穩(wěn)定使用要求。

四、技術(shù)參數(shù)

德國(guó)進(jìn)口ISI ELBAZ0456過(guò)濾器，采用梯度疊層燒結(jié)濾芯架構(gòu)搭配側(cè)向進(jìn)下向出低擾動(dòng)流道工藝布局，面向精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場(chǎng)景打造的帶梯度疊層燒結(jié)濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元，適配對(duì)應(yīng)ISI ELBA系列過(guò)濾器備件的標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，將過(guò)濾器通過(guò)殼體預(yù)留的安裝支耳固定在管路系統(tǒng)的預(yù)設(shè)安裝位置，確認(rèn)過(guò)濾器固定牢固無(wú)晃動(dòng)，將上下游的流體管路分別接入過(guò)濾器的側(cè)向入口和下向出口，確認(rèn)所有管路連接牢固無(wú)滲漏，打開(kāi)快開(kāi)端蓋將全新的梯度疊層燒結(jié)濾芯裝入殼體內(nèi)部的預(yù)設(shè)定位位置，確認(rèn)濾芯安裝到位后扣合快開(kāi)卡扣鎖緊端蓋，確認(rèn)端蓋鎖緊牢固無(wú)松動(dòng)，緩慢開(kāi)啟上下游管路的控制閥門通入流體，核對(duì)過(guò)濾器整體無(wú)滲漏且下游流出流體潔凈度符合預(yù)期，確認(rèn)所有功能正常后即可正式投入管路長(zhǎng)期高精度過(guò)濾運(yùn)行，梯度疊層濾芯實(shí)現(xiàn)分級(jí)攔截延長(zhǎng)納污周期，側(cè)向進(jìn)下向出流道避免雜質(zhì)二次析出，全流道鏡面拋光減少介質(zhì)吸附，快開(kāi)無(wú)工具端蓋簡(jiǎn)化維護(hù)操作，安裝固定、管路對(duì)接、濾芯裝填、性能核驗(yàn)的全流程可同步完成，設(shè)計(jì)符合工業(yè)用高純介質(zhì)高精度管路過(guò)濾器的相關(guān)行業(yè)技術(shù)規(guī)范，適配的常規(guī)系列型號(hào)ELBAZ0456的參數(shù)覆蓋多數(shù)精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場(chǎng)景的運(yùn)行條件，長(zhǎng)期伴隨半導(dǎo)體制造設(shè)備特種工藝氣體管路除雜布設(shè)、生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┹斔凸苈愤^(guò)濾的使用場(chǎng)景下運(yùn)行狀態(tài)的穩(wěn)定性處于可控范圍，適配各類精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場(chǎng)景配套專用帶梯度疊層燒結(jié)濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元的使用需求。

五、產(chǎn)品尺寸

核心高精度流體固體顆粒攔截功能單元本體尺寸

單元的整體緊湊型高純介質(zhì)管路過(guò)濾器輪廓按照工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)梯度疊層濾芯大通徑低阻過(guò)濾器的常規(guī)緊湊尺寸專項(xiàng)優(yōu)化，內(nèi)部梯度疊層燒結(jié)濾芯、側(cè)向進(jìn)下向出流道和快開(kāi)端蓋的布局組合適配多數(shù)精密分析儀器設(shè)備內(nèi)部有限的安裝空間，整臺(tái)單元的過(guò)濾器整體大外徑、總軸向高度、進(jìn)出接口的外伸尺寸對(duì)應(yīng)的外形尺寸控制在適配同系列ISI ELBA系列過(guò)濾器的合理范圍，安裝完成后過(guò)濾器的外輪廓不會(huì)和周邊管路系統(tǒng)的其他元件發(fā)生空間干涉的情況，保障常規(guī)精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場(chǎng)景下的單元布設(shè)適配性。

配套關(guān)聯(lián)安裝與功能結(jié)構(gòu)基準(zhǔn)參數(shù)

單元的過(guò)濾器流體進(jìn)出端適配的對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)潔凈管路接頭的常規(guī)適配接口尺寸參數(shù)、適配的對(duì)應(yīng)推薦常規(guī)額定大允許工作流量參考參數(shù)、過(guò)濾器的常規(guī)允許最長(zhǎng)連續(xù)不間斷運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)參考值，符合同系列ISI工業(yè)高純流體過(guò)濾元件的通用安裝規(guī)范，不用在原有精密分析儀器管路系統(tǒng)上為過(guò)濾器額外加工非標(biāo)異形大尺寸安裝空間，就能直接完成整套過(guò)濾器的固定安裝與過(guò)濾性能調(diào)試，實(shí)現(xiàn)大顆粒預(yù)攔截+高精度精濾梯度過(guò)濾和低流阻穩(wěn)定輸運(yùn)一體化作業(yè)核心功能單元的快速布設(shè)替換。

六、應(yīng)用領(lǐng)域

大型半導(dǎo)體制造設(shè)備特種工藝氣體管路除雜布設(shè)場(chǎng)景

適配各類大型半導(dǎo)體制造設(shè)備特種工藝氣體管路的除雜作業(yè)，梯度疊層燒結(jié)濾芯性能多層梯度精度分級(jí)攔截雜質(zhì)，無(wú)需頻繁拆解更換新濾芯，大幅延長(zhǎng)在線使用周期，側(cè)向進(jìn)下向出低擾動(dòng)流道性能平緩低擾動(dòng)流道避免雜質(zhì)二次沖刷帶出，無(wú)需加裝下游二次攔截保護(hù)單元，保障下游流體潔凈度穩(wěn)定，半導(dǎo)體車間運(yùn)維人員不用頻繁拆解更換新的濾芯，不用在過(guò)濾器下游額外加裝獨(dú)立的雜質(zhì)二次攔截保護(hù)單元，拉長(zhǎng)過(guò)濾器的有效在線使用周期。

大型生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┹斔凸苈愤^(guò)濾場(chǎng)景

適配各類大型生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┹斔凸苈返倪^(guò)濾作業(yè)，316L不銹鋼全流道鏡面拋光性能全流道鏡面拋光降低介質(zhì)吸附，無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間大流量循環(huán)沖洗，快速完成系統(tǒng)開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備，快開(kāi)卡扣式無(wú)工具端蓋性能徒手快開(kāi)卡扣鎖緊端蓋，無(wú)需配備專用拆裝工具，大幅縮短濾芯更換時(shí)長(zhǎng)，生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室運(yùn)維人員不用在正式投入使用前對(duì)過(guò)濾器做長(zhǎng)時(shí)間的大流量循環(huán)沖洗，不用配備專用的拆裝工具，縮短系統(tǒng)的開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備時(shí)長(zhǎng)。

大型新能源鋰電池生產(chǎn)電解液輸送管路過(guò)濾場(chǎng)景

適配各類大型新能源鋰電池生產(chǎn)電解液輸送管路的過(guò)濾作業(yè)，大通徑低阻適配性能大通徑低流阻設(shè)計(jì)，無(wú)需加裝大排量增壓元件補(bǔ)償損失，降低管路系統(tǒng)運(yùn)行能耗，高精度微米級(jí)顆粒攔截性能微米級(jí)高精度攔截微小顆粒，無(wú)需加裝下游終端高精度過(guò)濾元件，直接滿足高純流體潔凈度要求，鋰電池生產(chǎn)車間運(yùn)維人員不用在過(guò)濾器上游額外加裝大排量增壓元件補(bǔ)償壓力損失，不用在下游采樣位置額外加裝獨(dú)立的終端高精度過(guò)濾元件，降低管路系統(tǒng)的整體運(yùn)行能耗。

大型分析儀器氣相色譜載氣管路過(guò)濾場(chǎng)景

適配各類大型分析儀器氣相色譜載氣管路的過(guò)濾作業(yè)，雙道食品級(jí)密封圈密封性能雙道密封圈帶檢漏間隙，無(wú)需大量涂抹液態(tài)密封膠，支持在線監(jiān)測(cè)密封狀態(tài)，標(biāo)準(zhǔn)通用管路接口性能標(biāo)準(zhǔn)通用管路接口，無(wú)需定制非標(biāo)螺紋轉(zhuǎn)接頭，直接對(duì)接存量標(biāo)準(zhǔn)管路，分析儀器運(yùn)維人員不用在端蓋貼合位置額外涂抹大量的液態(tài)密封膠，不用額外加工非標(biāo)螺紋轉(zhuǎn)接零件，降低安裝配套的工作量。

七、總結(jié)

德國(guó)進(jìn)口ISI ELBAZ0456過(guò)濾器，憑借梯度疊層燒結(jié)濾芯設(shè)計(jì)、側(cè)向進(jìn)下向出低擾動(dòng)流道的差異化設(shè)計(jì)，解決了普通常規(guī)均質(zhì)濾層過(guò)濾器濾餅層易快速堆積堵塞、微小顆粒攔截效率不足的常見(jiàn)痛點(diǎn)，316L不銹鋼全流道鏡面拋光性能、快開(kāi)卡扣式無(wú)工具端蓋的特性覆蓋了大型半導(dǎo)體制造設(shè)備特種工藝氣體管路除雜布設(shè)、大型生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室高純?cè)噭┹斔凸苈愤^(guò)濾、大型新能源鋰電池生產(chǎn)電解液輸送管路過(guò)濾等多類精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場(chǎng)景配套的專用帶梯度疊層燒結(jié)濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元的使用需求，在工業(yè)高純介質(zhì)高精度管路過(guò)濾器應(yīng)用領(lǐng)域擁有廣泛的落地適配空間，是一款針對(duì)長(zhǎng)期高潔凈低擾動(dòng)精密流體復(fù)雜工業(yè)工況場(chǎng)景、免額外加裝多級(jí)串聯(lián)預(yù)過(guò)濾保護(hù)單元維護(hù)需求、存量普通常規(guī)均質(zhì)濾層過(guò)濾器升級(jí)替換適配場(chǎng)景深度優(yōu)化的實(shí)用型專用工業(yè)配套帶梯度疊層燒結(jié)濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元。

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