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5100系列是一款質(zhì)量流量控制器，它實(shí)現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		1秒內(nèi)（±2％F.S.內(nèi)）
準(zhǔn)確性		±1％F.S.
溫度系數(shù)		0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
操作壓差范圍		F.S.≤5SLM50. 300kPa
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
		選項(xiàng)：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
可工作壓力		300kPa（G）以下
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率		1 x 10^-11 Pa.m³/s以下
允許周圍溫度		0~50℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料		車身SUS316L
		隔膜SUS316L
		閥座PTFE
		密封材料SUS316L，Ni，Au
		選項(xiàng)：SUS密封（SU），內(nèi)部磨削規(guī)格（KP）
電氣連接		Dsub 9針KFC　標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定輸入信號		0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號		0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）200 mA
配件（車身尺寸）		標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項(xiàng)1/4 SWL
重量		約1000g