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它是一款全金屬M(fèi)FC，配備高速繞線傳感器，具有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。
SEMI兼容106mm（可選擇124mm）表面，RS485通信是標(biāo)準(zhǔn)配置。
高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品，1.0％SP。

金屬密封結(jié)構(gòu)
高速應(yīng)答及出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性
0-5V或4-20mA輸入/輸出信號(hào)，電源
可從±15 V或24 V單電源選擇
□電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān)，可以使用主機(jī)中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計(jì)算出的值
標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
符合RoHS?CE標(biāo)準(zhǔn)

EX-550標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

形式		質(zhì)量流量控制器 EX-550C	質(zhì)量流量計(jì) EX-550M
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉）	–
目標(biāo)氣體（* 1）		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等（未列出的氣體換算成N2）
流量范圍（* 2）		10 SCCM~5 SLM
控制范圍（測(cè)量范圍）		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		總流量控制范圍在1sec內(nèi)（within±2%F.S.）
響應(yīng)速度		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa	–
精度		±1.0％SP（25％FS至100％FS），±0.25％FS（25％FS）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
工作壓差（* 3）		50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa）	–
入口壓力		350kPa（G）
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度	允許周圍溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲(chǔ)存溫度	-10～60℃
允許環(huán)境濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料		SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co
電氣連接		Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） HR-10A×2
流量設(shè)定輸入信號(hào)		0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω）	–
流量輸出信號(hào)		0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負(fù)載電阻500Ω以下）
數(shù)字通信		通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需電源（DC）		+15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下）
接頭		相當(dāng)于1/4 VCR
安裝姿勢(shì)		未
重量		約800g	約550g