模擬型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)AC-S030C/AC-S030M主要應(yīng)用在量程范圍從10SCCM--30SLM之間氣體流量的測量和控制，采用新型傳感制作工藝，具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)