模擬型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M主要應(yīng)用在量程范圍從10SCCM--30SLM之間氣體流量的測量和控制,采用新型傳感制作工藝,具有響應(yīng)速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)點,適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)。
性能特點:
1、響應(yīng)速度快 2、耐壓程度高
3、抗干擾性強 4、寬壓力范圍
5、流量控制精準 6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠
技術(shù)參數(shù):
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標定。
質(zhì)量流量單位:SCCM(標準毫升每分鐘) SLM(標準升每分鐘)
標準狀況:溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程
型號 | AC-S030C | AC-S030M |
流量規(guī)格 | 10SCCM---30SLM | |
控制量程(N2) | 2—99% | 1—99% |
精度 | ≤±1%F.S | |
線性 | ≤±0.5%F.S | |
重復(fù)性 | ≤±0.2%F.S | |
閥門類型 | 常閉閥 | |
響應(yīng)時間 | 1—2S | |
耐壓 | 50Bar | |
通訊信號 | 模擬通訊 0—5V或4—20mA | |
供電方式 | 15VDC或24VDC(300mA) | |
泄露率 | 1X10-9atm.cc/sec.He | |
模擬型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設(shè)備




















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