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AC-S030C/M 模擬式流量控制器/計

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   本公司生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計均采用進口標準的全新技術(shù),新型的傳感制作工藝,兼容模擬/數(shù)字通訊方式,更快的響應(yīng)速度,更穩(wěn)定的精準控制,更廣的測量范圍是我們產(chǎn)品的主要優(yōu)勢。

   成都松盛測控技術(shù)有限公司以“務(wù)實、求真、敬業(yè)”為主要的經(jīng)營理念,貫徹“為客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)”的目標使命,結(jié)合多年行業(yè)的經(jīng)驗以及服務(wù)上百家企業(yè)的實際案例,在不斷總結(jié)和創(chuàng)新的基礎(chǔ)上,致力于扎根流體產(chǎn)品行業(yè)。公司擁有完整全面的工作程序、嚴格細致的操作流程、精益求精的服務(wù)水平、快速響應(yīng)的服務(wù)態(tài)度,隨時為客戶提供各種流體應(yīng)用方案以及解決產(chǎn)品使用中的各種狀況。

   本公司生產(chǎn)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于SPUTTER磁控濺射臺、等離子刻蝕、石油化工、高校實驗室、科研單位、航空航天、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、真空鍍膜行業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

動態(tài)配氣儀,氣體濃度稀釋裝置,熱式氣體質(zhì)量流量控制器,熱式氣體質(zhì)量流量計
模擬型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M主要應(yīng)用在量程范圍從10SCCM--30SLM之間氣體流量的測量和控制,采用新型傳感制作工藝,具有響應(yīng)速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)點,適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)
AC-S030C/M 模擬式流量控制器/計 產(chǎn)品信息

模擬型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M主要應(yīng)用在量程范圍從10SCCM--30SLM之間氣體流量的測量和控制,采用新型傳感制作工藝,具有響應(yīng)速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)點,適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)。

性能特點:

1、響應(yīng)速度快     2、耐壓程度高

3、抗干擾性強     4、寬壓力范圍

5、流量控制精準   6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠

技術(shù)參數(shù):

氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標定。

質(zhì)量流量單位:SCCM(標準毫升每分鐘)   SLM(標準升每分鐘)

標準狀況:溫度--293.15K(20℃)   壓力--101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale)表示滿量程

型號

AC-S030C

AC-S030M

流量規(guī)格

10SCCM---30SLM

控制量程(N2)

2—99%

1—99%

精度

≤±1%F.S

線性

≤±0.5%F.S

重復(fù)性

≤±0.2%F.S

閥門類型

常閉閥

響應(yīng)時間

1—2S

耐壓

50Bar

通訊信號

模擬通訊  0—5V或4—20mA

供電方式

15VDC或24VDC(300mA)

泄露率

1X10-9atm.cc/sec.He


模擬型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設(shè)備

關(guān)鍵詞:控制器 流量計
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