是實現(xiàn)大小公差±0.5μm的高精度機床。最小分辨率為0.01μm（選配規(guī)格）。采用線性標尺的全閉環(huán)控制系統(tǒng)和高速高精度伺服控制相匹配的高級機種。按環(huán)境變化，為了實現(xiàn)對各發(fā)熱部的冷卻對策及機械溫度穩(wěn)定性,提高了各