實(shí)現(xiàn)了通用型圓筒研磨盤(pán)加工精度的約1/10的0.1μm水準(zhǔn)的圓形平面精度,平面精度。搭載了30,000min-1,80,000min-1的研磨主軸2座,并且也搭載了與之相對(duì)應(yīng)的2個(gè)砂輪整形裝置。