等離子體流動(dòng)控制設(shè)備采用質(zhì)量流量控制法對(duì)等離子體進(jìn)行氣體流量、密度、溫度、壓力的控制。等離子體流動(dòng)控制設(shè)備可靠性高、重復(fù)性高。寬范圍的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍，可使用多種氣體，實(shí)現(xiàn)范圍的參數(shù)選擇。手自一體控制模式