LFIX系列氣流控制系統(tǒng)由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥和壓力檢測(cè)組件等組成，它利用流動(dòng)的流體不同的流量效應(yīng)而制成，其原理是采用量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，并分別控制各自氣體的流量，進(jìn)入混合器