該裝置主體結(jié)構(gòu)包括制冷機(jī)系統(tǒng)、真空腔、防輻射屏及樣品臺(tái)等，搭配柔性波紋管和減震墊可實(shí)現(xiàn)樣品處微米級(jí)低振動(dòng)，該恒溫器可配合精密位移平臺(tái)進(jìn)行整體結(jié)構(gòu)三維空間上高精度、大量程的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)樣品不同位置測(cè)量的需