一、氣動(dòng)超高真空插板閥概述CCQ氣動(dòng)超高真空插板閥是用壓縮空氣為動(dòng)力，通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)氣缸活塞，通過(guò)傳動(dòng)桿推動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)閥板沿軸向運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥門(mén)的開(kāi)啟或關(guān)閉沒(méi)從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中