一、氣動(dòng)超高真空插板閥概述

CCQ氣動(dòng)超高真空插板閥是用壓縮空氣為動(dòng)力，通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)氣缸活塞，通過(guò)傳動(dòng)桿推動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)閥板沿軸向運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥門(mén)的開(kāi)啟或關(guān)閉沒(méi)從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理，在外形上美觀，并具有動(dòng)作平穩(wěn)，體積小，流道大，使用可靠，密封性能好喝壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。

二、氣動(dòng)超高真空插板閥參數(shù)

公稱(chēng)通徑：DN63-DN400
適用范圍(Pa)：10⁵~1.3×10^-7
閥門(mén)漏率(Pa.L/S)：DN≤200為≤1.3×10^-7、DN≥250為≤6.7×10^-7
閥門(mén)烘烤溫度：≤150(除傳動(dòng)裝置外)
開(kāi)閥時(shí)間板兩側(cè)壓力差：≤2.7×10³
氣源壓力：0.4-0.7
安裝位置：任意

三、氣動(dòng)超高真空插板閥尺寸表

四、應(yīng)用

真空閥門(mén)是指在真空系統(tǒng)中，用來(lái)改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門(mén)關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來(lái)密封的。