設(shè)備構(gòu)成:底座、坩鍋桿升降系統(tǒng)、爐體、上傳動(dòng)(提拉)機(jī)構(gòu)、電器控制柜、中頻電源(用戶自備),真空系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)等,該生長(zhǎng)爐可以生長(zhǎng)Si、Ge、Cr、LiTaO3、BGO、Nd:YAG、YVO4、LYSO、藍(lán)寶石等人工晶體。
1、箱體:內(nèi)徑Φ500mm x高850mm(可定制);采用全SUS304不銹鋼制造,箱體外拋光處理,提拉機(jī)構(gòu)固定在箱體頂部,設(shè)備檢修方便,整體性更好。
2、提拉機(jī)構(gòu):采用進(jìn)口伺服電機(jī)和機(jī)械傳動(dòng)部件,提拉機(jī)構(gòu)匹配焊接波紋管密封;。
3、真空系統(tǒng):JKT-200金屬油高真空擴(kuò)散泵機(jī)組,三路復(fù)合真空計(jì),配置專用冷阱和管道片式冷阱,根據(jù)需要可以選配無(wú)油真空系統(tǒng)或超低溫冷阱。
4、加熱系統(tǒng):選用優(yōu)質(zhì)直流電源;根據(jù)客戶需求配置中頻或高頻電源。
5、充氣系統(tǒng): 0~0.08MPa,壓力控制采用金屬控制模塊,充氣系統(tǒng)前置減壓閥。
6、控制系統(tǒng):19寸標(biāo)準(zhǔn)控制柜集成,可選配西門子PLC控制系統(tǒng)和西門子工業(yè)級(jí)觸摸屏,匹配進(jìn)口三級(jí)塔型報(bào)警裝置,根據(jù)工藝參數(shù)設(shè)定專用報(bào)警數(shù)據(jù)庫(kù),配置精密稱重傳感器單元,精度0.1G。
設(shè)備結(jié)合國(guó)內(nèi)成熟生長(zhǎng)工藝,根據(jù)客戶需求定制,同時(shí)對(duì)客戶的工藝摸索提供必要的幫助。該設(shè)備廣泛運(yùn)用于人工晶體材料(特別是YAG、Cr、LYSO、LSO、YVO4等人工晶體)的提拉生長(zhǎng)。




















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