產品特點:
1.一體式人機操作系統(tǒng),連續(xù)式自動化生產,工作效率高,節(jié)約人工成本、電能及工藝時間;
2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好;
3.優(yōu)質不銹鋼材質,表面經物理及化學拋光處理,確保潔凈度;
4.自帶自清潔功能——高溫清潔。
技術參數:
型號 | TASS15100D112-N0 | TASS20100D112-N0 | |||||
處理產品 | 6/8inch 晶圓 | 處理量 | 100PCS/管 | ||||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | ||||||
上料口 | 2個 | 機械手 | 1 | ||||
溫度范圍 | 長期使用溫度: 950℃,溫度:1200℃ | ||||||
升溫速率 | <8℃/min | 降溫速率 | <7℃/min | ||||
加熱功率 | 30kW(單爐) | 加熱溫區(qū) | 3個 | ||||
爐溫均勻性 | ±2℃(950℃恒溫) | 控溫熱偶 | K分度 | ||||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | ||||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||||
氣氛控制 | 多路流量計調節(jié)進氣 流量計量程: 1)0-150L/min 氮氣 2)0-40L/min 氧氣 | 氣氛 | N2/O2 | ||||
排氣系統(tǒng) | 在頂部設置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收 | ||||||






















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