產(chǎn)品特點:
1.一體式人機操作系統(tǒng),連續(xù)式自動化生產(chǎn),工作效率高,節(jié)約人工成本、電能及工藝時間;
2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好;
3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),表面經(jīng)物理及化學拋光處理,確保潔凈度;
4.自帶自清潔功能——高溫清潔。
技術參數(shù):
型號 | TASF3075D107-N0 | TASF3075D207-N0 | TASF3075D407-N0 | |||
處理產(chǎn)品 | 8/12inch 晶圓 | 處理量 | 100/75PCS/管 | |||
加熱器 | 圓形FEC加熱板 | |||||
上料口 | 4個 | 機械手 | 1 | |||
溫度范圍 | 長期使用溫度: 350℃,溫度:750℃ | |||||
升溫速率 | <8℃/min | 降溫速率 | <7℃/min | |||
加熱功率 | 30kW(單爐)*2 | 加熱溫區(qū) | 3個*2 | |||
爐溫均勻性 | ±2℃(350℃恒溫) | 控溫熱偶 | K分度 | |||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |||
爐膛材料 | 石英 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | |||
氣氛控制 | 多路流量計調(diào)節(jié)進氣 流量計量程: 1)0-150L/min 氮氣 2)0-40L/min 氧氣 | 氣氛 | N2/O2 | |||
排氣系統(tǒng) | 在頂部設置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收 | |||||




















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