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擴散爐

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北京環(huán)創(chuàng)科學(xué)儀器有限公司是一家專注于環(huán)境試驗設(shè)備、實驗室儀器、超聲波清洗設(shè)備及電子工藝設(shè)備的設(shè)計、制造和銷售為一體的個性化企業(yè)。公司管理層由長期從事環(huán)境試驗設(shè)備及設(shè)計工藝、生產(chǎn)管理和市場營銷的高級專業(yè)人員組成,是一只經(jīng)驗豐富,勇于創(chuàng)新,精誠協(xié)作的團隊;致力于為客戶提供創(chuàng)新設(shè)計、環(huán)保、安全、節(jié)能、可靠品質(zhì)的解決方案。

公司主要銷售:環(huán)境試驗儀器設(shè)備、理化室實驗儀器設(shè)備、超聲波清洗設(shè)備、恒溫老化設(shè)備、工業(yè)熱工設(shè)備、工業(yè)冷水設(shè)備、計量檢定裝置;并具有設(shè)計制造各種非標(biāo)準(zhǔn)、大型、超大型試驗設(shè)備的技術(shù)生產(chǎn)能力。

公司具備有與航空、航天、兵工、船舶、通信、機械、石油、機車車輛、電工電子、高等院校、制藥、合成材料、化工等領(lǐng)域長期合作的經(jīng)驗;熟悉這些領(lǐng)域里所有的試驗方法,以及相關(guān)的國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn);承接對設(shè)備系統(tǒng)的設(shè)計、制造及售后全套的優(yōu)質(zhì)服務(wù),保證了產(chǎn)品經(jīng)久耐用、安全可靠、高效的精良品質(zhì)。

公司本著“以質(zhì)量贏得市場,以高效服務(wù)贏得口碑”的經(jīng)營理念,嚴(yán)守自己的質(zhì)量保證體系與售后服務(wù)體系。因此,公司在國內(nèi)建立了*的銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò);除北京外,還在石家莊、濟南、西安、武漢、蘇州、成都、重慶、深圳等大城市設(shè)立了辦事處與客戶攜手共創(chuàng)的產(chǎn)品和貢獻的服務(wù)。

公司傳承和弘揚“科學(xué)、誠信、創(chuàng)新”的精神,堅持為客戶貢獻高品質(zhì)產(chǎn)品,高效率服務(wù)!我們實事求是,讓“科學(xué)、現(xiàn)代、環(huán)保、高效”的環(huán)創(chuàng)與您一道共創(chuàng)輝煌!

綜合穩(wěn)定性試驗箱
詳細(xì)說明生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備:【產(chǎn)品簡介】擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,它的主要用途是對半導(dǎo)體進行摻雜,即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布,以便建立起不同的電特性區(qū)域
擴散爐 產(chǎn)品信息
詳細(xì)說明

生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備:

【產(chǎn)品簡介】

    擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,它的主要用途是對半導(dǎo)體進行摻雜,即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片,從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布,以便建立起不同的電特性區(qū)域。  
    在現(xiàn)代工業(yè)中,擴散爐常常用于半導(dǎo)體器件的擴散、氧化退火、燒結(jié)等工藝設(shè)備,也可作為磁性材料的燒結(jié)工藝,還可適用于機械行業(yè)的淬火,冶金業(yè)稀土燒結(jié)工藝。

【產(chǎn)品特點】
●新型爐體設(shè)計,提高了溫度穩(wěn)定性;配合高精度溫控儀的使用,保證工藝過程中溫度的快速穩(wěn)定。
●主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架,獨立完成不同的工藝或相同工藝 。
●工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制。
●采用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染。
●工藝管路閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管路),流量控制采用質(zhì)量流量計(MFC)進口。
●具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

【擴散爐系列性能技術(shù)指標(biāo)】

 

型號

爐管內(nèi)徑(mm)

爐管數(shù)量(管)

工作溫度(℃)

恒溫區(qū)長度(mm)

升溫時間(min)

穩(wěn)定時間(min)

升溫功率(KVA/管)

恒溫功率(KVA/管)

重量(Kg)

外型尺寸

(長*寬*高)

L4513Ⅱ-1/RZQ

Φ80

1

500-1250℃短時間1300℃

>700℃,600±0.5℃;

<90

<120

<8.5

<4

320

1400*560*1370

L4513Ⅱ-2/RZQ

L4513Ⅱ-3/RZQ

450

1400*560*1793

L4514Ⅱ-1-3/RZQ

Φ90

1-#-3

30

<90

<3.3

485

對應(yīng)序號同上

L4513Ⅱ-11/RZQ

Φ90

1

<90

<120

<9.6

<4.5

330

1400*560*1370

L4513Ⅱ-12/RZQ

2

475

1400*560*1793

L4513Ⅱ-11-12/RZQ

Φ98

1-#-2

<40

<90

<4.3

450

對應(yīng)序號同上

L4513Ⅱ-14/RZQ

1

<60

<90

<10

<4.8

360

1600*500*1490

L4513Ⅱ-15/RZQ

2

510

1600*500*1903

L4513Ⅱ-21/RZQ

Φ100

1

<90

<120

<10

<5

340

1400*560*1370

L4513Ⅱ-22/RZQ

2

500

1400*560*1793

L4514Ⅱ-21-22/RZQ

Φ118

1-#-2

<40

<90

<4.8

490

對應(yīng)序號同上

L4513Ⅱ-31/RZQ

Φ120

1

<40

<150

<12

<6.5

400

1600*600*1409

L4513Ⅱ-32/RZQ

2

580

1600*600*1903

L4512Ⅱ-31-32/RZQ

1-#-2

<90

<5.5

580

對應(yīng)序號同上

L4514Ⅱ-31-32/RZQ

Φ135

1-#-2

同上

同上

<12

<6

600

1600*600*1720

L4514Ⅱ-41-42/RZQ

Φ150

<13.5

<6.8

L4514Ⅱ-51-52/RZQ

Φ180

1-#-2

同上

同上

<18

<9

650

1700*600*1800

L4514Ⅱ-61-62/RZQ

Φ200

1-#-2

<120

<160

<20

<10

680

1750*650*1850

L4514Ⅱ-71-72/RZQ

Φ240

1-#-2

<120

<180

<24

<12

700

1800*700*1900

說明 :  1、全部指標(biāo)為靜態(tài) 。  2、分離式注明“F”。  3、特殊要求,另行設(shè)計制造。

 

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