薄膜厚度測量范圍 （Thickness Range）: 1 nm - 1.8 mm

波長范圍 （Wavelength Range）: 200 nm - 1700 nm

精度 （Precision）: <0.01 nm or 0.01%

穩(wěn)定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%

光斑大小 （Spot Size）: Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm）

功能： 測量薄膜厚度、光學常數(shù)，反射率和透過率

單層膜或多層膜疊加層； 適用于幾乎所有透明，半透明，低吸收系數(shù)的薄膜測量，包括液態(tài)膜或空氣層。

測試條件： 平面或曲面

可配XY平臺實現(xiàn)全樣品膜厚 mapping

FT-100 薄膜厚度測量儀

薄膜厚度測量范圍 （Thickness Range）: 1 nm - 1.8 mm

波長范圍 （Wavelength Range）: 200 nm - 1700 nm

精度 （Precision）: <0.01 nm or 0.01%

穩(wěn)定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%

光斑大小 （Spot Size）: Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm）

功能： 測量薄膜厚度、光學常數(shù)，反射率和透過率

單層膜或多層膜疊加層； 適用于幾乎所有透明，半透明，低吸收系數(shù)的薄膜測量，包括液態(tài)膜或空氣層。

測試條件： 平面或曲面

可配XY平臺實現(xiàn)全樣品膜厚 mapping

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可集成于以上測試平臺 （ 三維輪廓儀，微納米壓痕/劃痕儀，摩擦磨損儀等）