1）專(zhuān)業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專(zhuān)用設(shè)備，使用于3-6寸晶圓的軟打標(biāo)或硬打標(biāo)作業(yè)。

2）疊片式上料，傳送式送片，花籃式收料，自動(dòng)完成疊片到裝籃過(guò)程；

3）支持OCR字符和點(diǎn)陣字符，全自動(dòng)生產(chǎn)加工；

4）工業(yè)級(jí)激光器，穩(wěn)定可靠，免維護(hù)；

5）光束質(zhì)量好，標(biāo)識(shí)精細(xì)，可讀性好；

6）操作界面友好，PLC全程控制，使用操作方便。

技術(shù)規(guī)格                        項(xiàng) 目                             單 位                       數(shù) 值

加工尺寸                       晶圓尺寸                         inch                      5 英寸

激光器功率                激光器出口處                       W                         20瓦

激光器波長(zhǎng)              紅外光纖激光器                     nm                     1064納米

                                     定位精度                         mm                     0.05毫米

                                     重復(fù)精度                         mm                     0.02毫米

振鏡                          掃描速度                      mm/s                7000毫米/秒

                                    振鏡類(lèi)型                       數(shù)字/模擬           高速數(shù)字式振鏡

專(zhuān)業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專(zhuān)用設(shè)備，使用于3-6寸晶圓的軟打標(biāo)或硬打標(biāo)作業(yè)。