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微小量氣體流量計2

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上海堅鴻儀表有限公司

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產(chǎn)品簡介

微小量氣體流量計2

詳細介紹

微小量氣體流量計

產(chǎn)品簡介：

FM4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點：

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量

- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償

- 感器的高精度計量

- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

- 傳感器的零點穩(wěn)定度高

- 全量程高穩(wěn)定性

- 全量程高精確度和優(yōu)良的重復性

- 低功耗

- 低壓損

- 響應時間快

主要參數(shù)：

性能參數(shù)	FM4001	單位
通徑	1.0 1.8	mm
流量	30,100,200 500,1000	SCCM
量程比	100:1
精度	±（1.5+0.2FS)	%
重復性	0.25	%讀數(shù)
零點輸出漂移	±30	mV
輸出漂移	±0.12	%/℃
響應時間	4,8,16,33,65,131	mses
工作電源	8-18VDC,50mA
輸出方式	線性，RS232模擬電壓0.5-4.5VDC
流量壓損	350 300	pa
工作壓力	0.5	Mpa
工作溫度	-10~+55	℃
儲存溫度	-20~+65	℃
工作濕度	< 95%RH(無結冰、無凝露）
機械接口	可拆式軟管接頭
校準方式	空氣（或其它氣體），20℃，101.325kpa
重量	15	g