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DC-M100C/M 數(shù)字式流量控制器/計

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產品簡介

數(shù)字式中量程氣體質量流量控制器/流量計DC-M100C/M主要應用在量程范圍從30SLM--100SLM之間氣體流量的測量和控制，產品耐壓能達5Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點，適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體（及少數(shù)腐蝕性氣體）

詳細介紹

性能特點：

1、響應速度快 2、耐壓5Mpa

3、抗干擾性強 4、寬壓力范圍

5、流量控制精準 6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠

技術參數(shù)：

氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘） SLM（標準升每分鐘）

標準狀況：溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示滿量程

型號	DC-S030C	DC-S030M
流量規(guī)格	30SLM---100SLM
控制量程（N2)	2—99%	2—99%
精度	≤±1%F.S
線性	≤±0.5%F.S
重復性	≤±0.2%F.S
閥門類型	常閉閥
響應時間	1—2S
耐壓	50Bar
通訊信號	模擬通訊 0—5V或4—20mA 數(shù)字通訊 RS485
供電方式	﹢14VDC—27VDC（300mA)
泄露率	1X10-9atm.cc/sec.He

數(shù)字式中量程氣體質量流量控制器/流量計DC-M100C/M應用行業(yè)：真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環(huán)境保護設備、各種分析儀器設備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備

關鍵詞：控制器流量計

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