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真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表,是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類(lèi),分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象,會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。
目前,真空技術(shù)是支撐航天、半導(dǎo)體、平板顯示、能源、醫(yī)藥、理化、分析、光學(xué)、汽車(chē)、食品等眾多行業(yè)的基礎(chǔ)技術(shù),佐藤真空創(chuàng)業(yè)約 90 年來(lái)不斷改進(jìn)生產(chǎn)真空泵、真空測(cè)量?jī)x器和各種真空部件的組件技術(shù),以及將其應(yīng)用于所有真空設(shè)備組的技術(shù)。
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