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嚴質(zhì)3D顯微鏡

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更新時間：2026-05-09 16:56:50瀏覽次數(shù)：62次

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上海嚴質(zhì)檢測設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

CHT-X6系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性），定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

詳細介紹

產(chǎn)品特點

1）表征微觀形貌的粗糙度測量；

2）臺階?、?度等輪廓尺?測量；

3）?動對焦、?動找條紋、?動調(diào)亮度等?動化輔助功能；

4）校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等數(shù)據(jù)處理功能；

5）對?分析和多?件分析等輔助分析功能。

測量

1）?接觸性測量: ?損傷地獲取表?形貌信息;

2）?精度: 粗糙度/輪廓信息測量精度1nm;

3）快速測量: 快速對焦、快速掃描、快速重建處理;

4）穩(wěn)定性: 良好的抗振和抗?擾能力，適應復雜的?作環(huán)境。

分析

1）數(shù)據(jù)的可視化：提供直觀的數(shù)據(jù)可視化展?供直接觀察?涉圖案和測量結果;

2）同時，也?持數(shù)據(jù)導出到常?的?件格式，?便進?進?步的數(shù)據(jù)分析;

3）的數(shù)據(jù)分析功能：通過圖像處理算法和?級分析軟件，用戶可以進?相位提取、表?拓撲分析;

4）薄膜厚度計算等多項分析，從而實現(xiàn)更詳盡的測試結果和更全?的表征。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1）非接觸、快速靈活、功能的光機電一體化檢測系統(tǒng)；

2）設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

3）設備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

4）設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；

5）設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

6）設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

7）設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能。

行業(yè)應用

1）絨面金字塔測量應用

Ⅰ表面3D維、2D結構；

Ⅱ單個金字塔的高度和寬度測量；

Ⅲ金字塔計數(shù)功能：可自動統(tǒng)計出單位面積內(nèi)的晶粒數(shù)量，并在視圖上以十字符號標記出晶粒位置，不同規(guī)格金字塔的數(shù)量布局圖。

絨面金字塔測量應用

2）柵線測量

Ⅰ柵線高度、寬測量功能；

Ⅱ單視場內(nèi)的剖面線數(shù)量；

Ⅲ柵線區(qū)域自動劃分功能；

Ⅳ柵線自動測量功能。

柵線測量

3）集成電路晶圓背面減薄粗糙度

集成電路晶圓背面減薄粗糙度

4）鈣鈦礦薄膜太陽能技術激光槽測量臺階高度測量

鈣鈦礦薄膜太陽能技術激光槽測量臺階高度測量

型號		CHT-X6	CHT-X62	CHT-X63
行程范圍	X	100mm	230mm	300mm
	Y	100mm	230mm	300mm
	Z	100mm	100mm	100mm
外形尺寸		520×380×600mm	720×580×1500mm	1000×900×1500mm
儀器重量		50kg	400kg	500kg
測量原理		共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡		標配：10X 選配：2.5X 5×，20×，50×，100×
視場范圍		120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量	重復性*1(1σ)	≤0.1% 1σ
	顯示分辨率	0.1nm
寬度測量	重復性*²(1σ)	≤0.5%
	精度*²	±1.5%
	顯示分辨率	0.1nm
XY位移平臺	負載	10kg
	控制方式	手動和自動
Z0軸掃描范圍		100m
物鏡塔臺		5孔電動
光源		白光LED
工作環(huán)境	電源	100-240V AC，50/60Hz，2A 功率300W
	工作溫度	溫度15℃~30℃，溫度梯度 < 2℃/60分鐘
	相對濕度	5%~95%RH，無凝露
	環(huán)境振動	VC-C或更優(yōu)
	其他	無強磁場，無腐蝕氣體

*1 在實驗室環(huán)境下使用50X物鏡測量4.7µm標準臺階樣塊。

*2 在實驗室環(huán)境下使用50X物鏡測量標準刻線樣板。

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