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上海嚴(yán)質(zhì)檢測(cè)設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品應(yīng)用鈣鈦礦太陽能電池的性能受薄膜質(zhì)量和厚度的影響。高質(zhì)量薄膜提升了電子和空穴傳輸效率，減少能量損耗并延長載流子壽命。優(yōu)化制備工藝，如使用低毒性溶劑和封閉蒸汽退火，可提高薄膜的結(jié)晶性和均勻性，提升光電轉(zhuǎn)換效率（PCE）。嚴(yán)質(zhì)CHT系列臺(tái)階儀是嚴(yán)質(zhì)自主研發(fā)的套國產(chǎn)化臺(tái)階儀，其主要用于臺(tái)階高度、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。具有高精度、高分辨率特點(diǎn)，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，保證穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。測(cè)量端采用金剛石探針，提供多種可選的曲率半徑，探針施加力通過專用軟件自動(dòng)控制。標(biāo)配一個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品及針尖同時(shí)成像，可無畸變地觀察樣品區(qū)，快速定位特征區(qū)域。嚴(yán)質(zhì)CHT系列臺(tái)階儀采用大行程壓電位移臺(tái)控制探針接觸樣品表面，反饋環(huán)路控制壓電微動(dòng)臺(tái)保證壓力值恒定；碰到凸階時(shí)，壓電微動(dòng)臺(tái)抬起探針，碰到凹坑時(shí)，探針下探，壓電微動(dòng)臺(tái)的位移量即是臺(tái)階高度。垂直分辨率為0.1nm，重復(fù)性偏差小于0.5nm。
穩(wěn)定的重復(fù)性花崗巖龍門架結(jié)構(gòu)搭配高精度微力傳感器與微動(dòng)掃描器，提供高的測(cè)量精度和重復(fù)性：1um標(biāo)樣30次掃描偏差極值＜10nm，準(zhǔn)確度小于0.5nm。 | ||
金剛石探針采用金剛石探針，提供不同規(guī)格，滿足客戶對(duì)臺(tái)階儀的不同需求。 | ||
無畸變觀察樣品區(qū)系統(tǒng)配備攝像頭，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)探針掃描狀態(tài)及可觀察掃描區(qū)域，無畸變觀察樣品區(qū)。 | ||
樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能配備了精密XY位移臺(tái)、360°旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，可對(duì)樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高測(cè)量精度及效率。 | ||
半導(dǎo)體應(yīng)用1）沉積薄膜的臺(tái)階高度 2）抗蝕劑（軟膜材料）的臺(tái)階高度 3）蝕刻速率測(cè)定 4）化學(xué)機(jī)械拋光（腐蝕、凹陷、彎曲） | ||
蓋鈦礦臺(tái)階高度測(cè)量 |
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玻璃基板及顯示器應(yīng)用1）AMOLED 2）液晶屏研發(fā)的臺(tái)階步級(jí)高度測(cè)量 3）觸控面板薄膜厚度測(cè)量 4）太陽能涂層薄膜測(cè)量 | ||
柔性電子器件薄膜應(yīng)用1）有機(jī)光電探測(cè)器 2）印于薄膜和玻璃上的有機(jī)薄膜 3）觸摸屏銅跡線 | ||
型號(hào) | CHT-TJ02B | ||
樣品 | 單片(厚度≤10mm) 可定制 | ||
晶圓尺寸和行程 | 6寸 ≤150mm | 8寸≤200mm | 12寸≤300mm |
重復(fù)性測(cè)量偏差 | ≤0.5nm(1σ 1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次) | ||
測(cè)量范圍 | 80um | ||
垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 | ||
探針加力范圍 | 0.5~50mg | ||
力控制 | 恒定 | ||
采樣速度 | 200Hz | ||
掃描長度 | 55mm | ||
掃描方向 | 左右雙向 | ||
掃描分辨率 | 10nm | ||
掃描采集點(diǎn)數(shù) | 200萬點(diǎn) | ||
掃描速度 | 5um/s -50um/s | ||
掃描平整度 | 20nm/2mm | ||
樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)方式 | 可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(zhuǎn)(RZ)手動(dòng)控制 | ||
XY樣品臺(tái)重復(fù)性 | ±5um | ||
Z樣品臺(tái)行程 | 10mm | ||
樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) | 士360° | 士360° | |
標(biāo)準(zhǔn)探針 | 曲率半徑≥2um角度60°(標(biāo)配) | ||
亞微米探針 | 曲率半徑≤1um角度60° | ||
軟件功能 | 臺(tái)階、粗糙度、平整度和翹曲度測(cè)量 | ||
探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 | ||
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