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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)/HMDS涂膠機(jī)

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合肥真萍電子科技有限公司

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所在地區(qū)：安徽合肥市

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產(chǎn)品簡介

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)：1、預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會降低，所以有著更好的處理效果等；2、處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性；3、效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片；4、更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多；5、更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會對環(huán)境造成污染。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：

型號	MD-40	MD-15
內(nèi)膽尺寸	450450450mm	250250250mm（WDH)
真空度	150Pa;采用真空泵；
加熱方式	腔體外側(cè)四周加熱；
溫度	RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫精確可靠；
控溫精度	±2%℃（200℃內(nèi)）；
備注	開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-90分鐘。