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半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

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產(chǎn)品型號FluxDancer E900

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所在地廣州市

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更新時間：2025-10-10 14:35:25瀏覽次數(shù)：84次

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  東譜科技

東譜科技（廣州）有限責(zé)任公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：49條

所在地區(qū)：廣東廣州市

聯(lián)系人：梁工（銷售工程師）

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產(chǎn)品簡介

FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設(shè)備，專為測量和分析半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性而設(shè)計(jì)。這款儀器融合了眾多前沿測量技術(shù)，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關(guān)矩陣等，使其能夠執(zhí)行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。詳情請到“東譜科技"網(wǎng)站。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是由東譜科技Oriental Spectra精心打造的高精度測試設(shè)備，專為測量和分析半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性而設(shè)計(jì)。這款儀器融合了眾多前沿測量技術(shù)，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關(guān)矩陣等，使其能夠執(zhí)行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。

FluxDancer之處在于其對測試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征，而且廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體研發(fā)、工藝制程開發(fā)、器件可靠性測試和光電器件測試等領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的多儀器組合相比，F(xiàn)luxDancer的集成設(shè)計(jì)確保了更高的測量精度和分辨率。

在技術(shù)規(guī)格上，F(xiàn)luxDancer展現(xiàn)了其性能。它支持廣泛的電壓和電流測量范圍，具備精度和靈敏度，能夠檢測到低至飛安級別的微小電流，并能夠進(jìn)行高達(dá)兆赫茲頻率的CV測量。此外，F(xiàn)luxDancer還具備*的數(shù)據(jù)處理能力，可以在測試后立即進(jìn)行器件特性分析，支持多種數(shù)據(jù)保存方式，便于用戶進(jìn)行后續(xù)的分析研究或直接導(dǎo)入建模軟件進(jìn)行模型提取和特性分析。

FluxDancer的適用性非常廣泛，能夠適應(yīng)各種擴(kuò)展性的測試場景。例如，它可以與高低溫恒溫器耦合，進(jìn)行變溫器件性能測試；與顯微測試系統(tǒng)耦合，進(jìn)行微納器件測試；與手套箱測試耦合，實(shí)現(xiàn)測試過程的惰性氣體保護(hù)；與真空發(fā)生器測試耦合，實(shí)現(xiàn)真空測試；與磁學(xué)部件耦合，檢測磁場影響下的電學(xué)性能;與晶圓測試平臺耦合，實(shí)現(xiàn)對晶圓及后續(xù)半導(dǎo)體模組的電學(xué)測試等。

FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是半導(dǎo)體行業(yè)中的高精度測試工具，它以其性能和廣泛的應(yīng)用范圍，為科研人員和工程師提供了一個可靠的測量平臺，助力用戶在半導(dǎo)體領(lǐng)域的探索與創(chuàng)新。

產(chǎn)品特點(diǎn)

□ 電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、脈沖IV測試等全面功能；

□ 電流測量分辨率0.1 fA，測試精度30 fA；

□ IV-t測試模式，采樣率不低于65 us/點(diǎn)；

□ 支持脈沖模式下的最短脈沖寬度為10 ns；

□ 測試功能：IV、IV-t、PIV (脈沖IV)、Super-PIV (10 ns sampling)CV、阻抗、1/f (100 KHz)、Super-1/f (1 MHz)、Solar cell、FET、BJT、EL等。

□ 高精度和高分辨率的測量能力；

□ 快速測量和分析，支持多種測量模式；

□ 模塊化設(shè)計(jì)，易于升級和擴(kuò)展：配置＞10個插槽，支持吸收電流至4A；

□ 適用器件、材料，有源/無源元器件等類型的電子器件；

□ 直觀的用戶界面，簡化操作流程；

□ 支持自動化測試和數(shù)據(jù)分析。

主要可選配功能

□ IV

□ Super-IV

□ PIV (脈沖IV)

□ Super-PIV (10 ns sampling)

□ CV

□ 阻抗

□ Solar cell

□ FET

□ BJT

□ EL

□ 1/f (100KHz)

□ Super-1/f (1MHz)

產(chǎn)品應(yīng)用

□ 新型半導(dǎo)體

□ 二極管

□ CMOS 晶體管

□ 雙極晶體管（BJT）

□ 分立器件

□ 存儲器

□ 功率器件

□ 光子檢測器件

□ 太陽能電池

□ 發(fā)光二極管器件

□ 薄膜晶體管

□ 二維材料

□ EMS

□ 傳感器

□ 納米器件

功能參數(shù)

規(guī)格配置		主要技術(shù)指標(biāo)
I-V 源測量單元 (SMU)	大功率SMU	電壓范圍：± 100 V-±200V 直流電流范圍：± 1A 脈沖電流范圍：± 2A-±3A 最小電流分辨率：0.1 fA 最小電壓分辨率：100nV 電流測量精度分辨率：10fA 電壓測量精度分辨率：0.5uV 直流功率：20W或者40W可選脈沖功率：480W （電壓160V，電流3A）脈沖模式最小寬度：50 us，可輸出50us脈沖測試支持四象限測試支持2線或4線測試支持IV-T測試模式，采樣率550ns每點(diǎn)，數(shù)據(jù)存儲點(diǎn)可以設(shè)置為10K，1M，10M或100M
	中等功率直流SMU	電壓范圍：±40-±50 V 電流范圍：±1.5A 最小電流分辨率：400 pA 最小電壓分辨率：4 uV 電流測試分辨率：10fA 電壓測量分辨率：0.5uV 支持四象限測試支持2線或4線測
	小功率直流SMU	電壓范圍：±14 V 電流范圍：±40 mA 最小電流分辨率：200 nA 最小電壓分辨率：60 uV 電流測量分辨率：10fA 電壓測量分辨率：0.5uV 支持四象限測試支持2線或4線測試
	支持源表數(shù)量	1-5可選
	前置放大	可配置前置放大，SMU電流測量分辨率提高至0.1fA
C-V 多頻率電容單元 (CVU)		AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t) 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍，最小頻率分辨率1mHz 電容測試精度1pF@1MHz≤±0.3%，10pF@1MHz≤±0.15%，10pF@100kHz≤±0.2% ±30 V (60 V差分)，內(nèi)置 DC 偏置源可以擴(kuò)展到 ± 210 V(420 V差分) 具有IV、CV自動切換測量功能支持C-V，C-f電容測量掃描方
脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元 (PMU)		兩個獨(dú)立的高速脈沖 I-V 源和測量通道 200 MSa/s，5 ns 樣點(diǎn)間隔 ±40 V (80 V p-p )，±800 mA 瞬態(tài)波形捕獲模式任意波形發(fā)生器，10 ns 可編程分辨
高壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU)		兩個高速脈沖電壓源通道 ±40 V (80 V p-p )，± 800 mA 任意波形發(fā)生器，10 ns 可編程分辨率
I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)		在 I-V 和 C-V 之間切換，無需抬起探針任意端子C-V測量，無需抬起探針支持 ±210 V DC 偏置
1/f噪聲測試模塊（FNU）		速度8～10s/bias 帶寬1Hz～100KHz 噪聲本底：2*1028A2/Hz 全帶寬下的偏壓為±200
電氣輸入		100V～240V，50/60Hz 可選配UPS不間斷電
軟件系統(tǒng)
軟件		Windows操作系統(tǒng)（含嵌入式PC）圖形化全套測試軟件樣品放置完畢，僅點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可完成測試，包括對儀表進(jìn)行控制和提取測試數(shù)據(jù)，支持曲線追蹤功能，實(shí)時觀察器件擊穿和飽和情況支持太陽能電池、發(fā)光器件、MOSFET、BJT雙極器件、晶體管器件、晶體管電容器、電阻器、二極晶管等器件的測試?yán)?br style="box-sizing: border-box;"/>