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該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計，設(shè)計用于承受高真空，高壓，高溫，有毒氣體等的使用。

所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進行泄漏檢測，因此具有高度可靠的泄漏檢測能力。
因為是波紋管密封型裝置，不存在針閥軸泄漏的可能性。
流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹脂、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃，因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性
具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋導(dǎo)向流量計管和超精密球組成，裝設(shè)有流暢流量特性的精密針閥。

	氣體	流體
流體名稱	Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準(zhǔn)）其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準(zhǔn)，實際氣體校準(zhǔn)請另行咨詢 ※選項：2種流體刻度	標(biāo)準(zhǔn)流體（H2O）其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準(zhǔn) （但是，會產(chǎn)生與實際液體的誤差。）
流量范圍	0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN	0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN
精度	FS±2％（計量點）※選項：FS±1％（計量點）	FS±2％（計量點）
耐壓	100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa	5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa
有效刻度	10：1 ※選項20：1

材質(zhì)		SS制
主體區(qū)塊		SUS316
錐形管		硬玻璃
密封材料		氟橡膠
浮標(biāo)		硬質(zhì)玻璃，SUS316
保護罩		丙烯
使用溫度		60℃
連接端口		1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/8 F 900（可選），1/4 UJR（選項）* O形密封圈的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格（可選配焊接密封）