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廣州文明機電有限公司


TF-LFA 薄膜激光導熱儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地廣州市

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更新時間：2024-12-15 13:52:22瀏覽次數(shù)：51次

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產(chǎn)品簡介

TF-LFA 薄膜激光導熱儀

詳細介紹

材料的熱物理性質(zhì)以及最終產(chǎn)品的傳熱優(yōu)化在工業(yè)應用領域變得越來越重要。

??經(jīng)過幾十年的發(fā)展，閃射法已經(jīng)成為常用的用于各種固體、粉末和液體熱導率、熱擴散系數(shù)的測量方法。

薄膜熱物性在工業(yè)產(chǎn)品中正變得越來越重要，如：相變光盤介質(zhì)、熱電材料、發(fā)光二極管（LED ） ，相變存儲器、平板顯示器以及各種半導體。在這些工業(yè)領域中，特定功能沉積膜生長在基底上以實現(xiàn)器件的特殊功能。由于薄膜的物理性質(zhì)與塊體材料不同，在許多應用中需要專門測定薄膜的參數(shù)。

??基于已實現(xiàn)的激光閃射技術，LINSEIS TF-LFA 薄膜導熱測試儀(Laserflash for thin films)可以測量80nm——20μm厚度薄膜的熱物理性質(zhì)。

1.瞬態(tài)熱反射法（后加熱前檢測（RF））:

由于薄膜材料的物理性質(zhì)與基體材料顯著不同，必需要有相應的技術來克服傳統(tǒng)激光閃射法的不足，即瞬態(tài)熱閃射法。

?  測量模型與傳統(tǒng)激光閃射法相同：檢測器和激光器在樣品兩側(cè)。考慮到紅外探測器測試薄膜太慢，因此檢測是通過熱反射方法完成的。該技術的原理是材料在加熱時，表面反射率的變化可最終用于推導出熱性能。測量反射率隨時間的變化，得到的數(shù)據(jù)代入包含的系數(shù)模型里面并快速計算出熱性能。

2. 時域熱反射法（前加熱前檢測（FF））:

時域熱反射技術是另一種測試薄層或薄膜熱性能（熱導率，熱擴散率）的方法。測量方式的幾何構造被稱為“前加熱前檢測（FF）"，因為檢測器和激光在樣品上的同一側(cè)。該方法可以應用于非透明基板上不適合使用RF技術的薄膜層。

3. 瞬態(tài)熱反射法（RF）和時域熱反射法（FF）相結合:

兩種方法可以集成在一個系統(tǒng)中并實現(xiàn)兩者優(yōu)點的結合。

型號

TF-LFA

溫度范圍

RT

RT 至 500℃

-100℃ 至 500℃

加熱速率

0.01 至 10 K/min

激光器

Nd:YAG Laser

脈沖電流

90 mJ/Implus（軟件控制）

脈寬

8ns

激光探頭

CW DPSS-Laser (473 nm),  50 mW

感光器

Si-PIN-Photodiode，有效直徑：0.8mm，

直流電壓…400MHz，響應時間：1ns

測量范圍

0.01 mm2/s 至1000 mm2/s

樣品直徑

圓形樣品 ∅ 10 至 20 mm 

樣品厚度

80 nm 至 20 µm

氣氛

還原，氧化，惰性

真空度

高至 10 E-4mbar


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