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霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)L79/HCS

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)L79/HCS

詳細(xì)介紹

L79/HCS系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體組件性能表征,包括:遷移率,電阻率,載流子濃度和霍爾常數(shù)。

基本型提供不同形狀和溫度條件下所需的樣品支架。選配低溫(液氮)附件結(jié)合高溫爐(溫度可達(dá)800°C)可確保涵蓋所有應(yīng)用領(lǐng)域。永磁體和電磁鐵可提供高達(dá)幾特斯拉強(qiáng)度的固定或者可變磁場(chǎng)。

樣品支架位于密封的真空測(cè)量室,測(cè)量室設(shè)有進(jìn)出氣體口,可在受控及可變的氣氛下進(jìn)行測(cè)量。不同的樣品支架可用于從LN2至800℃進(jìn)行測(cè)量。

可選的實(shí)際磁場(chǎng)強(qiáng)度可以在高達(dá)150℃的溫度下測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中,在滑軌上的兩個(gè)磁路可以移動(dòng)組裝,可將磁通量從正變?yōu)榱闵踔翞樨?fù),因此樣品無(wú)需移動(dòng)。


  • 電阻率和電導(dǎo)率

  • 霍爾常數(shù)和遷移率

  • 載流子濃度

  • 高溫霍爾測(cè)量

  • 易于操作

  • 集成裝置

型號(hào)

L79 HCS

溫度范圍

從LN2 至 800°C (不同配置)

輸入電流

5nA 至 125 mA

霍爾張力

1 µV 至 2500 µV

數(shù)字分辨率

300 pV

樣品幾何形狀

從 5 x 5 mm 至 25 x 25 mm

高度 5 mm

磁場(chǎng)

Basic: 永磁鐵,0.7 T;磁極直徑90 mm
用于雙極測(cè)量的兩個(gè)磁鐵設(shè)置。
Alt.: 電磁鐵1 T (可變場(chǎng));磁極直徑76mm

電源 75A / 40V.
雙極測(cè)量用電流反向開(kāi)關(guān)

傳感器

提供不同的可交換傳感器配置

電阻率范圍

10-4 至 107 (Ω/cm)

載體密度

107 至 1021 (1/cm3)

遷移率

1 至 107 (cm2/Volt sec)

重復(fù)性/準(zhǔn)確性


電阻率

± 3% (大多數(shù)材料)
± 6% (大多數(shù)材料)

霍爾常數(shù)

± 5% (大多數(shù)材料)

± 6% (大多數(shù)材料)

氣氛

真空,惰性,氧化,還原

附件:

  • 多種傳感器可用于不同的:

    • 樣品量

    • 溫度范圍

  • 可選永磁鐵或電磁鐵。

  • 淬火冷卻附加裝置,可在80K下進(jìn)行測(cè)量。

  • 控制液氮冷卻的KREG和Dewar。

  • 用于自動(dòng)化測(cè)量的電動(dòng)線性平臺(tái)。

  • 規(guī)定大氣的氣體進(jìn)出口。

關(guān)鍵詞:傳感器

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