當(dāng)前位置：賽福儀器承德有限公司>>CIF半導(dǎo)體儀器設(shè)備>>CIF電鏡專(zhuān)用等離子清洗機(jī)>>CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)

CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地承德市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

塑料機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-11-14 19:33:36瀏覽次數(shù)：242次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自塑料機(jī)械網(wǎng)

產(chǎn)品分類(lèi) 品牌分類(lèi)

暫無(wú)信息

賽福儀器承德有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：67條

所在地區(qū)：

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>

詳細(xì)介紹

0609_遠(yuǎn)程等離子.jpg

產(chǎn)品特點(diǎn)

v 雙等離子清洗源

v 一機(jī)多用

v 高效低損傷

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)	CIF-SEM
法蘭接口	KF40（CF40）
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)，
	遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器
氣體控制	標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇
真空控制	美國(guó)MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍1E-5Torr
真空保證	真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面
電源/功率	220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器，氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護(hù)