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全自動(dòng)晶圓打標(biāo)機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2025-07-02 15:36:06瀏覽次數(shù)：114次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

晶圓激光打標(biāo)設(shè)備：標(biāo)準(zhǔn)打標(biāo)字體及種類、打標(biāo)字符尺寸檢測(cè)、單點(diǎn)形態(tài)檢測(cè)(清洗后）、單點(diǎn)形態(tài)檢測(cè)（SIC)

詳細(xì)介紹

我司自主研發(fā)的晶圓激光打標(biāo)機(jī)：應(yīng)用于SEMI標(biāo)準(zhǔn)6/8/12英寸鉭酸鋰、鈮酸鋰片單面軟激光刻 碼，以客戶指定的位置和內(nèi)容對(duì)硅片做統(tǒng)一標(biāo)識(shí)，便于對(duì)硅片能 進(jìn)行有效的跟蹤。
技術(shù)參數(shù)：

機(jī)型

HX-LM-2000

設(shè)備尺寸

約1520(L)x1800(W)x1987(H)mm

激光波長(zhǎng)

355nm/532nm/1064nm

激光功率

5W?50W

脈沖能量穩(wěn)定性

<2%

字體

DotmatrixSEMIOCR5*9/9*17/10*18

Barcode SEMIBC412SEMIT7

光束質(zhì)量M2

<1.2

定位精度

±100um

點(diǎn)深度

(1.5?5)±0.5μm

點(diǎn)直徑

(50?70) ±5μm

晶圓材質(zhì)

無(wú)涂層硅片/氧化硅片/碳化硅/砷化鎵/鉭酸鋰/鈮酸鋰

晶圓尺寸

100mm/150mm/200mm/300mm

晶圓傳送

單臂/雙臂 機(jī)器人

晶圓校準(zhǔn)器

光電式

Loadport

1個(gè)/2個(gè)

產(chǎn)能

120(OnlyLaser)/100(LaserandOCR)

清潔度

＜Class 100

MTBF

>350hr

MTTR

＜4hr

可運(yùn)行時(shí)間

≥95%

電源要求

AC220V 20A 50Hz
 

關(guān)鍵詞：打標(biāo)機(jī)

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