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北京漢默科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質其他
所 在 地北京市
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更新時間：2026-08-09 12:56:45瀏覽次數(shù)：31次
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Brooks 5860E/5850E質量流量計/控制器
| 型號 | 5850E | 5860E |
| 流量范圍(N2) | 3SCCM~30SLPM | 3SCCM ~ 30slpm |
| 響應時間 | <3 sec | <2 sec |
| 精準度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重復精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
| 輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供電電源 | +15 Vdc | +15 Vdc |
| 耐壓 | 1500psi | 1500psi |
| 壓差范圍 | 5~50psi | |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 使用范圍 | 2 ~ 99% | 2~ 99% |
| 接口形式 | 卡套、VCR | 卡套、VCR |
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