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真空張力傳感器

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產(chǎn)品型號瑞士FMS

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更新時間：2026-06-16 18:38:19瀏覽次數(shù)：164次

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無錫德貿(mào)精密機電有限公司

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聯(lián)系人：陳國（銷售）

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產(chǎn)品簡介

作為瑞士精密傳感領(lǐng)域的品牌，F(xiàn)MS 真空張力傳感器專為高真空、超高真空環(huán)境研發(fā)，以良好的技術(shù)性能與嚴苛的品質(zhì)標準，為半導體、真空鍍膜、航空航天等領(lǐng)域提供精準可靠的張力測量解決方案。?
傳感器采用全密封真空兼容設(shè)計，通過特殊防脫氣處理與金屬焊接封裝工藝，有效避免內(nèi)部材料在真空環(huán)境下釋放氣體，防止腔體污染。傳感器可穩(wěn)定工作于10?? Pa 至大氣壓的全真空度范圍。

詳細介紹

MS張力傳感器在真空卷繞鍍膜設(shè)備中運用到常見的兩款型號為LMGZ軸承式張力傳感器和C203活動軸張力傳感器。

FMS 真空張力傳感器采用全密封真空兼容設(shè)計，通過特殊防脫氣處理與金屬焊接封裝工藝，有效避免內(nèi)部材料在真空環(huán)境下釋放氣體，防止腔體污染。傳感器可穩(wěn)定工作于10?? Pa 至大氣壓的全真空度范圍，在半導體芯片制造的 CVD、PVD 工藝，以及真空鍍膜設(shè)備的分子泵環(huán)境中，依然能保持 **±0.3%** 的測量精度，精準捕捉微米級薄膜或金屬線材的張力變化。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)經(jīng)過強化設(shè)計，選用高純度不銹鋼材質(zhì)，具備優(yōu)異的耐腐蝕性與機械強度，可抵御真空環(huán)境下的溫度驟變與壓力波動。旗下LMGZ 系列采用懸臂梁式結(jié)構(gòu)設(shè)計，適用于窄幅材料的張力測量，在柔性電子器件制造的真空蒸鍍環(huán)節(jié)表現(xiàn)出色；C203 系列采用緊湊型設(shè)計，支持軸徑式安裝，在卷繞式真空鍍膜設(shè)備中可實現(xiàn)對精密基材的穩(wěn)定監(jiān)測。同時，全系傳感器支持多種信號輸出模式（RS485、Modbus、模擬量），能無縫對接各類真空設(shè)備的自動化控制系統(tǒng)，確保數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性與實時性。

憑借瑞士原廠嚴苛的測試認證體系，F(xiàn)MS 真空張力傳感器已成功應用于國外眾多真空生產(chǎn)線。在真空鍍膜行業(yè)，精確控制柔性基材張力，保障納米級薄膜均勻沉積；于航空航天零部件制造中，為真空熱處理工藝提供可靠張力監(jiān)測，助力提升產(chǎn)品良品率與生產(chǎn)效率。選擇 FMS 真空張力傳感器，即是選擇真空環(huán)境下的測量精度與品質(zhì)保障。