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遼寧大正智能機(jī)器人有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地沈陽市
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更新時間:2023-08-24 11:08:31瀏覽次數(shù):408次
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安川機(jī)器人MR124

| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | ||
|---|---|---|---|
| 機(jī)械臂 | 適用晶體尺寸 | 300mm(450m)*1 | |
| 晶體把持方式 | 真空吸附夾具或邊緣夾具 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)邊緣效應(yīng)器長*2 | 對應(yīng)345mm@300mm的晶體 | ||
| 驅(qū)動軸數(shù) | 5軸 | ||
| 手臂類型 | 單臂 | ||
| 動作范圍 | R軸伸縮*3 | 1215mm | |
| θ軸回旋 | 330° | ||
| Z軸升降 | 480mm | ||
| B軸回轉(zhuǎn) | 440° | ||
| 最小回轉(zhuǎn)半徑*2 | 510mm | ||
| 速度*2 | 伸縮 | 260°/s | |
| 回旋 | 330°/s | ||
| 升降 | 550mm/s | ||
| B軸回轉(zhuǎn) | 350°/s | ||
| 線性 | 2000mm/s | ||
| 重復(fù)定位精度*2 | 0.1mm(P-P) | ||
| 質(zhì)量 | 66kg | ||
| 位置調(diào)整器 | 適用晶體尺寸 | 300mm | |
| 晶體把持方式 | 真空吸附夾具 | ||
| 檢出對象 | 凹槽 | ||
| 晶體材質(zhì) | 珪素*4 | ||
| 晶體邊緣檢出傳感器 | LED + CCD線性傳感器 | ||
| 動作范圍 | 回旋 | 無限制 | |
| 速度(加速/減速時間) | 回旋 | 1000°/s(0.1s/0.1s) | |
| LINEMENT精度 | ±0.03° | ||
| LINEMENT時間 | 1.7秒以下 | ||
| 質(zhì)量 | 5.8kg | ||
| 設(shè)置環(huán)境 | 潔凈等級*5 | ISO等級1 | |
| 使用溫度·濕度 | 20~30℃,35~55%RH(不結(jié)露) | ||
| 保管溫度·濕度 | 0~40℃,35~80%RH(不結(jié)露) | ||
| 標(biāo)高 | 表高1000m以下 | ||
| 環(huán)境 | 無爆炸性,腐蝕性,可燃性氣體 | ||
| MCBF | 1500次循環(huán)以上 | ||
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