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國(guó)產(chǎn)芯笙氣體流量計(jì)多少錢(qián)

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產(chǎn)品型號(hào)流量控制 S500

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青島芯笙微納電子科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：500條

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聯(lián)系人：芯笙微納

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)先進(jìn)流量傳感器芯片，具有*的氣體流道設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量?jī)H為0.4~0.6%。在電學(xué)信號(hào)方面，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級(jí)顯示屏，方便客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試和配置。

詳細(xì)介紹

新一代工業(yè)級(jí)流量傳感器芯片與先進(jìn)氣路結(jié)構(gòu)的結(jié)合

數(shù)字質(zhì)量流量控制器：采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)先進(jìn)流量傳感器芯片，結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法，實(shí)現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度、高穩(wěn)定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試屏及獨(dú)立供電接口，適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏及其它各類(lèi)應(yīng)用環(huán)境。

基于科學(xué)家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比"理論發(fā)展而來(lái)。無(wú)氣流時(shí)，以Heater為中心的溫度場(chǎng)對(duì)稱(chēng)分布；有氣流時(shí)，溫度場(chǎng)分布發(fā)生偏移，導(dǎo)致上下游出現(xiàn)溫差，通過(guò)測(cè)量該溫差，即可推算出流過(guò)芯片表面的氣體質(zhì)量流量。

青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，具有*的氣體流道設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量?jī)H為0.4~0.6%。在電學(xué)信號(hào)方面，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級(jí)顯示屏，方便客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試和配置。