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XQ15-GⅢ 實(shí)用型激光平面干涉儀

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

XQ15-GⅢ實(shí)用型激光平面干涉儀號(hào)：.4用途和特點(diǎn)：　　在保留XQ15-GⅠ激光平面干涉儀的用途及特點(diǎn)的狀況下，更具實(shí)用性，可更廣泛適用于大批量生產(chǎn)單位的生產(chǎn)車間

詳細(xì)介紹

XQ15-GⅢ 實(shí)用型激光平面干涉儀
號(hào)：.4
1.png

用途和特點(diǎn)：
　　在保留XQ15-GⅠ激光平面干涉儀的用途及特點(diǎn)的狀況下，更具實(shí)用性，可更廣泛適用于大批量生產(chǎn)單位的生產(chǎn)車間。檢驗(yàn)車間的平面度、微小楔角測(cè)量，更適合于大平板生產(chǎn)流水線快速篩選的應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)：

  1. 標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

  2. 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

  3. 準(zhǔn)直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

  4. 光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)

  5. 干涉室尺寸----------------530×270×150mm

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