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Diener 低壓等離子設(shè)備 Tetra 150 PC / PCCE

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更新時(shí)間：2022-12-09 10:49:29瀏覽次數(shù)：258次

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產(chǎn)品簡介

Diener 低壓等離子設(shè)備 Tetra 150 PC / PCCE

詳細(xì)介紹

低壓等離子設(shè)備 Tetra 150 PC / PCCE

等離子設(shè)備 Tetra 150（示例）

Tetra 150 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 150 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。Tetra 150 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

分析 (REM, TEM)
考古
汽車行業(yè)
生物技術(shù)
彈性體技術(shù)
電子技術(shù)
電子顯微鏡
精密工程
研究和開發(fā)
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
太陽能電池技術(shù)
紡織技術(shù)

基本設(shè)備

根據(jù)具體組件/選裝件，外殼規(guī)格會(huì)有所不同
腔室容積：根據(jù)具體版本為 150 升
供電電源： 230 V 或者 400 V / 3 相位

氣源

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm）

裝載件

產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

電極

單層或多層
具有氣體噴淋的 RIE 電極

控制系統(tǒng)

PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

壓力測量

Pirani
Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計(jì)時(shí)器

數(shù)字型

發(fā)生器

頻率：	40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W
	13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W
	2.45 GHz: 功率 0 - 1200 W

所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級(jí)可調(diào)型

真空泵

規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。

關(guān)鍵詞：PC 電子顯微鏡控制器真空泵

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