P系列MFC質(zhì)量流量控制器MFC既可應用于半導體前段制程，如ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP等設(shè)備中，也在光伏能源、真空鍍膜等領(lǐng)域有可觀的市場。MFC可通過對氣體流量的精準控制，有效地提供更高的良率。