ZYGO大口徑激光干涉儀由4英寸激光干涉儀主機(jī)經(jīng)過擴(kuò)束為大口徑系統(tǒng)，通常為雙通道，即4英寸測量通道和大口徑測量通道，具有多種高精度測量模式，如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動態(tài)測量等。