產(chǎn)品特點(diǎn)：1.光柵尺是決定儀器精度最關(guān)鍵的硬件之一，我司采用精密光柵尺，分辨率為0.5卩m。2.采用伺服電機(jī)全閉環(huán)控制傳動(dòng)。精度高，定位精準(zhǔn)。運(yùn)行過(guò)程中無(wú)噪音，定位精度±1卩m。3.底座與立柱為00級(jí)花崗巖主體結(jié)構(gòu)