儀器特點(diǎn)：l三軸均采用中國臺灣TBI高精度V型導(dǎo)軌、無牙螺桿傳動(dòng)，噪音低振動(dòng)小，動(dòng)態(tài)幾何誤差變形最小；l采用優(yōu)質(zhì)花崗巖大理石底座、立柱，具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力。l采用大理石工作臺，保證移動(dòng)運(yùn)行