低溫真空泵：低溫真空泵是基于氣體冷凝降壓效應(yīng)，將可冷凝氣體冷凝至低溫表面、非冷凝氣體被低溫固體吸附劑吸附，從而使密閉腔體壓力下降的高真空獲得裝置。低溫真空泵廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路和泛半導(dǎo)體行業(yè)中，其